[发明专利]一种气相沉积制备热管的方法有效
申请号: | 202010948931.X | 申请日: | 2020-09-10 |
公开(公告)号: | CN112126928B | 公开(公告)日: | 2023-06-02 |
发明(设计)人: | 朱艳杰;朱胜利;王宏华 | 申请(专利权)人: | 安徽德诠新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C28/00 | 分类号: | C23C28/00;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/58;C23C16/26;C23C16/56;C22C19/03;F28D15/02 |
代理公司: | 成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙) 51250 | 代理人: | 田高洁 |
地址: | 233000 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 沉积 制备 热管 方法 | ||
1.一种气相沉积制备热管的方法,其特征在于,所述方法包括:
1)利用气相沉积的方式在热管内表面沉积制备混合金属沉积层;
2)对热管进行热处理,对热管内壁的混合金属沉积层进行烧结形成混合金属层;
3)再次采用气相沉积的方式,在混合金属层表面沉积石墨烯,形成石墨烯层;
4)对石墨烯层进行预氧化,即得到热管;
步骤1)所述混合金属沉积层中含有铜和镍;所述混合金属沉积层中镍的含量为58~66.5wt%,余量为铜和不可避免的杂质;
步骤2)所述热处理于非氧化性气氛中进行,设定热处理温度为600℃及以上,保温30~40min后降温至320~335℃,保温1~2h;
步骤4)所述预氧化为:置于含有氧气的气氛中,60~70℃保温160~180min。
2.根据权利要求1所述的一种气相沉积制备热管的方法,其特征在于,
步骤1)所述气相沉积为真空溅镀。
3.根据权利要求2所述的一种气相沉积制备热管的方法,其特征在于,
真空溅镀参数为:设定磁控靶功率为40~120W,本底真空度为3.0×10-4~5.0×10-4Pa,氩气流量为15~20mL/min,压强为1.0~1.5Pa。
4.根据权利要求3所述的一种气相沉积制备热管的方法,其特征在于,
所述真空溅镀分为铜溅镀、铜镍溅镀和镍溅镀三个阶段;
铜溅镀过程采用铜金属作为靶材进行溅镀,铜靶功率为40~45W;
铜镍溅镀过程采用铜镍合金作为靶材进行溅镀,靶功率为80~85W;
镍溅镀过程采用镍金属作为靶材进行溅镀,镍靶功率为115~120W。
5.根据权利要求1所述的一种气相沉积制备热管的方法,其特征在于,
步骤3)所述气相沉积为化学气相沉积。
6.根据权利要求5所述的一种气相沉积制备热管的方法,其特征在于,
所述化学气相沉积为:设定本底真空度为0.8~1.0×10-4Pa,升温至940~960℃后,通入碳源气体并控制压强稳定在10~12Pa,保持11~13s。
7.根据权利要求1所述的一种气相沉积制备热管的方法,其特征在于,
所述热管为压扁型超薄铜管;所述压扁型超薄铜管的厚度≤2mm。
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