[发明专利]抗环境侵蚀极紫外多层膜表面保护层快速制备方法及应用

权利要求书

1.一种抗环境侵蚀极紫外多层膜表面保护层快速制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

在基底上镀制极紫外多层膜；

保持极紫外多层膜的真空环境不变，进行镁靶材和铝靶材的预溅射；

将镀制有所述极紫外多层膜的基底重复交替运动到镁靶材和铝靶材的溅射区域，控制运动参数，完成镁膜层和铝膜层交替生长的铝/镁多层膜结构的镀制，形成铝镁混合保护层，所述铝/镁多层膜结构中，每层镁膜的厚度为1-3纳米，每层铝膜的厚度为1-3纳米，将膜层厚度设置为形成微晶颗粒的临界厚度；

将镀制完成的基底取出真空腔，放置于大气环境中自发融合。

2.根据权利要求1所述的抗环境侵蚀极紫外多层膜表面保护层快速制备方法，其特征在于，所述铝/镁多层膜结构中，由极紫外多层膜表面向上第一层为镁膜层，最后一层为铝膜层。

3.根据权利要求1所述的抗环境侵蚀极紫外多层膜表面保护层快速制备方法，其特征在于，所述铝/镁多层膜结构中，镁膜层的质量占一周期铝/镁膜层质量的36%-38%。

4.根据权利要求1所述的抗环境侵蚀极紫外多层膜表面保护层快速制备方法，其特征在于，所述铝/镁多层膜结构中，铝膜层和镁膜层交替设置的膜对数为5-25对。

5.根据权利要求1所述的抗环境侵蚀极紫外多层膜表面保护层快速制备方法，其特征在于，所述大气环境中，环境温度低于25°C，环境湿度低于20%RH。

6.根据权利要求1所述的抗环境侵蚀极紫外多层膜表面保护层快速制备方法，其特征在于，所述真空环境为腔内气压为0.1~0.3Pa并充入由高纯氩气作为工作气体的真空腔。

7.根据权利要求1所述的抗环境侵蚀极紫外多层膜表面保护层快速制备方法，其特征在于，所述极紫外多层膜由吸收层和间隔层周期交替组成，吸收层材料包括SiC、Co、Zr中的一种，间隔层材料为Mg。

8.根据权利要求1所述的抗环境侵蚀极紫外多层膜表面保护层快速制备方法，其特征在于，所述预溅射的时间为20-30分钟。

9.根据权利要求1所述的抗环境侵蚀极紫外多层膜表面保护层快速制备方法，其特征在于，所述运动参数包括停留时间或运动速度。

10.一种带有保护层的多层膜反射镜，其特征在于，所述保护层为通过如权利要求1-9任一所述的抗环境侵蚀极紫外多层膜表面保护层快速制备方法制备获得的铝镁混合保护层。