[发明专利]一种硅片倒角机上的随行清洗槽有效
| 申请号: | 202010935495.2 | 申请日: | 2020-09-08 |
| 公开(公告)号: | CN112090840B | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
| 发明(设计)人: | 魏运秀 | 申请(专利权)人: | 赣州市业润自动化设备有限公司 |
| 主分类号: | B08B3/04 | 分类号: | B08B3/04;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司: | 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 | 代理人: | 朱文军 |
| 地址: | 341003 江西省赣州市赣州经济开发*** | 国省代码: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 硅片 倒角 随行 清洗 | ||
1.一种硅片倒角机上的随行清洗槽,包括矩形的水槽(1),水槽(1)左侧壁的上端成型有进口(11),其特征在于:水槽(1)内插设有若干纵向的滚轴(2),滚轴(2)的两端插接固定在水槽(1)上,滚轴(2)由一组呈倾斜分布的进料滚轴(21)和一组呈水平分布的承托滚轴(22)组成,进料滚轴(21)位于水槽(1)的左侧;所述承托滚轴(22)正前方的水槽(1)前侧壁上成型有出口(12),承托滚轴(22)之间的水槽(1)上插接有两组推料架,推料架由若干竖直的升降杆(3)组成,升降杆(3)上端通过销轴铰接有导轮(4),导轮(4)插设在水槽(1)内,导轮(4)的圆心分布在同一倾斜面内;所述升降杆(3)下端伸出水槽(1)固定在横向的连杆(5)上,连杆(5)上插接固定有纵向的驱动轴(6);所述水槽(1)下侧的升降杆(3)之间插设有两根横向的驱动杆(7),驱动杆(7)上成型有横向的驱动槽(71),驱动轴(6)插接在驱动杆(7)的驱动槽(71)内,驱动杆(7)的左端通过铰接轴(9)铰接在支座(8)上,支座(8)固定在水槽(1)的下端面上,驱动杆(7)的右端伸出水槽(1)插接固定有支轴(10),支轴(10)上插套有滚轮(20);
所述驱动杆(7)上靠近铰接轴(9)的一端插接有纵向的定位轴(30),支座(8)上插接有纵向的旋转轴(40),旋转轴(40)上插接有限位螺栓(50),限位螺栓(50)的末端螺接在定位轴(30)上,所述的限位螺栓(50)上插套有压簧(60),压簧(60)的两端分别压靠在定位轴(30)和旋转轴(40)上。
2.根据权利要求1所述的一种硅片倒角机上的随行清洗槽,其特征在于:所述的滚轴(2)上插套有辊套,进料滚轴(21)一侧左上端的辊套露出进口(11)的下端面。
3.根据权利要求1所述的一种硅片倒角机上的随行清洗槽,其特征在于:所述推料架上升降杆(3)伸入水槽(1)的长度自水槽(1)的前侧至水槽(1)的后侧逐渐递减。
4.根据权利要求3所述的一种硅片倒角机上的随行清洗槽,其特征在于:所述升降杆(3)顶端至水槽(1)出口(12)下端面的距离小于水槽(1)下侧升降杆(3)的长度。
5.根据权利要求4所述的一种硅片倒角机上的随行清洗槽,其特征在于:所述升降杆(3)上端的导轮(4)位于承托滚轴(22)的下侧。
6.根据权利要求1所述的一种硅片倒角机上的随行清洗槽,其特征在于:所述的驱动杆(7)呈水平,驱动杆(7)上的驱动槽(71)槽宽等于驱动轴(6)的直径。
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