[发明专利]一种用于法布里-珀罗干涉仪透明基板的整平装置

权利要求书

1.一种用于法布里-珀罗干涉仪透明基板的整平装置，其包括支撑基座(1)、保护壳体(2)、初步整平组件(3)、平面测距组件(4)以及精整平组件(5)，其中，所述支撑基座(1)的下端面对称设置有用于支撑固定的条形支撑腿，其上端面两侧通过螺栓固定连接有保护壳体(2)，所述保护壳体(2)左右两侧均设有传输口，用于送入获取出透明基板，其特征在于：所述支撑基座(1)的上端面安装有初步整平组件(3)，

所述初步整平组件(3)通过其上下相对挤压作用对透明基板外表面进行整平工作，使得透明基板外端面光整性偏差恒定在其误差范围内；

所述支撑基座(1)的上端面设置有平面测距组件(4)，所述平面测距组件(4)有效对透明基板的局部端面齐平度进行测量，记录并传输其检测数据至精整平组件(5)，

且，所述平面测距组件(4)的正上方设置有精整平组件(5)，该所述精整平组件(5)根据检测数据对整平工作面进行精确调整，使得其整平工作面完全适配于透明基板对应外表面；

所述初步整平组件(3)包括上平整装置(301)、下平整装置(302)以及传送带(311)，其中，所述保护壳体(2)内部一侧竖直固定有连接隔板(309)，所述保护壳体(2)内部上侧贴合固定有分离板(310)，且所述支撑基座(1)的上端面左右两侧通过支撑柱倾斜设置有传送带(311)，所述传送带(311)与所述分离板(310)相互平行间隔设备，使得保护壳体(2)两侧形成输送空间；

所述保护壳体(2)的内部上侧设置有上平整装置(301)，且所述支撑基座(1)的上端面通过固定座(303)固定设置有下平整装置(302)，所述上平整装置(301)与所述下平整装置(302)相互平行配合，在对透明基板横向输送的同时对其端面进行整平工作；

所述保护壳体(2)的内部两侧竖直对称设置有固定导杆(305)，所述上平整装置(301)通过设置在其两侧的滑动件(304)限位滑动在所述固定导杆(305)上，

且，所述保护壳体(2)的内部中间位置上下对称固定有安装座(306)，所述安装座(306)内可相对转动的设置有连接导轮(307)，所述连接导轮(307)上啮合传动有连接齿链(308)，所述连接齿链(308)的一侧与所述上平整装置(301)相固定，使得所述上平整装置(301)经由连接齿链(308)的啮合滑动有效调整其与所述下平整装置(302)之间垂直间距；

所述上平整装置(301)与所述下平整装置(302)内部结构相同，且其工作面传动方向一致，其中，所述上平整装置(301)包括固定框架(312)、挤压轮轴(7)、安装传带(316)、连接架(314)、旋转电机(315)以及整平盘座(6)，所述固定框架(312)内左右对称设置有挤压轮轴(7)，且所述固定框架(312)内对称安装有导向轮(313)，所述挤压轮轴(7)与导向轮(313)上传动设置有安装传带(316)，并通过所述安装传带(316)对透明基板外表面进行抚平工作，

所述固定框架(312)内安装有整平盘座(6)，且所述固定框架(312)内通过连接架(314)固定有旋转电机(315)，所述旋转电机(315)的输出端与整平盘座(6)连接固定，该所述整平盘座(6)一侧端面与安装传带(316)紧密贴合，使得当所述整平盘座(6)由旋转电机(315)驱动旋转时，所述安装传带(316)外表面形成圆形平整工作面；

所述整平盘座(6)包括安装板件(601)、侧按压件(602)、固定盘座(603)、主整平件(604)以及连接弹簧(605)，其中，所述安装板件(601)的一侧端面圆周开设有多个用于固定所述侧按压件(602)的内设凹口，所述侧按压件(602)可相对转动的固定在安装板件(601)上，且所述侧按压件(602)左右两侧均设有连接弹簧(605)与所述安装板件(601)连接固定，使得所述侧按压件(602)在对透明基板进行整平按压时，随透明基板端面起伏状态进行适时调整；

所述安装板件(601)的下端面通过多个连接立柱同轴固定有固定盘座(603)，所述固定盘座(603)的下端面安装有主整平件(604)，该所述主整平件(604)在圆周旋转下通过安装传带(316)对透明基板进行整平工作。