[发明专利]固态成像装置

权利要求书

1.一种固态成像装置，具有一第一区域及围绕该第一区域的一第二区域，该固态成像装置包括：

一基板，具有多个光电转换元件；

一彩色滤光片层，设置于该基板之上并包括多个彩色滤光片区段，多个所述彩色滤光片区段对应于多个所述光电转换元件；以及

一光波导层，设置于该彩色滤光片层上方并包括一波导分隔网格、在该波导分隔网格的空隙中的一波导材料及在该波导分隔网格与该波导材料上的一抗反射膜，

其中该波导分隔网格的顶部的宽度大于该波导分隔网格的底部的宽度。

2.如权利要求1所述的固态成像装置，其中该波导分隔网格在该第一区域中具有一第一波导部分，在该第二区域中具有对应于该第一波导部分的一第二波导部分，该第二波导部分的顶部的一第二波导宽度大于该第一波导部分的顶部的一第一波导宽度，且该第二波导宽度与该第一波导宽度的比例为1.05至1.3。

3.如权利要求2所述的固态成像装置，其中多个所述彩色滤光片区段包括多个红色滤光片区段及多个绿色滤光片区段和/或蓝色滤光片区段，该第一波导部分和该第二波导部分包围对应于多个所述红色滤光片区段的空间，且在该第二区域中，对应于多个所述红色滤光片区段中的每个的波导材料的顶表面小于对应于多个所述绿色滤光片区段和/或蓝色滤光片区段中的每个的波导材料的顶表面。

4.如权利要求1所述的固态成像装置，其中多个所述光电转换元件排列于多个正规像素与多个相位检测自动对焦像素中，多个所述相位检测自动对焦像素被多个所述正规像素所围绕，多个所述相位检测自动对焦像素中的每个对应于多个所述光电转换元件中的至少两个，且多个所述正规像素中的每个对应于多个所述光电转换元件中的一个。

5.如权利要求4所述的固态成像装置，其中该彩色滤光片层还包括设置于多个所述彩色滤光片区段之间的一金属网格，该金属网格在该第一区域中具有一第一金属部分，在该第二区域中具有对应于该第一金属部分的一第二金属部分，该第二金属部分的一第二金属宽度大于该第一金属部分的一第一金属宽度，且该第二金属宽度与该第一金属宽度的比例为1.2至1.75。

6.如权利要求5所述的固态成像装置，其中该第一金属部分和该第二金属部分对应于多个所述相位检测自动对焦像素中的一个与围绕该相位检测自动对焦像素的多个所述正规像素之间的空间，且多个所述彩色滤光片区段覆盖多个所述正规像素中的该第二金属部分的一部分。

7.如权利要求5所述的固态成像装置，其中该第一金属部分和该第二金属部分对应于多个所述相位检测自动对焦像素中的一个与围绕该相位检测自动对焦像素的多个所述正规像素之间的空间，该彩色滤光片层还包括设置于多个所述彩色滤光片区段之间与该金属网格之上的一彩色滤光片分隔网格，且该彩色滤光片分隔网格具有小于该第二金属部分的该第二金属宽度的一网格宽度。

8.如权利要求4所述的固态成像装置，其中该波导分隔网格在该第一区域中具有一第一波导部分，在该第二区域中具有对应于该第一波导部分的一第二波导部分，且该第二波导部分的顶部的一第二波导宽度大于该第一波导部分的顶部的一第一波导宽度。

9.如权利要求8所述的固态成像装置，其中该第一波导部分和该第二波导部分对应于多个所述相位检测自动对焦像素中的一个与围绕该相位检测自动对焦像素的多个所述正规像素之间的空间，该彩色滤光片层还包括设置于多个所述彩色滤光片区段之间的一彩色滤光片分隔网格，多个所述光电转换元件进一步排列于多个附加正规像素中，多个所述附加正规像素通过多个所述正规像素与多个所述相位检测自动对焦像素分离，且在该第二区域中，对应于多个所述正规像素中的一个的该波导材料的顶表面小于对应于多个所述附加正规像素中的一个的该波导材料的顶表面。