[发明专利]基于WS2

权利要求书

1.基于WS₂、VO₂的测温平台的使用方法，其特征在于，该测温平台包括Al₂O₃基板，Al₂O₃基板上沉积有VO₂薄膜，VO₂薄膜上附着有WS₂薄片，VO₂薄膜的厚度为100±20nm，WS₂薄片的厚度为30nm～40nm；

Al₂O₃基板上沉积有VO₂薄膜是将纯度为99.99％的Al₂O₃基板和钒金属靶材平行放置在真空室(4)内，调整真空室(4)的压力为20mTorr、温度为550℃，向真空室(4)内通入流量为22.5sccm的O₂和流量为15sccm的Ar，使用波长为248nm、脉冲频率为4Hz、脉冲宽度为25ns的KrF准分子激光烧蚀表面的功率密度为4J/cm²、功率通量为200mW的钒金属靶材，在Al₂O₃基板沉积VO₂薄膜；

使用机械剥离工艺获得WS₂薄片，用Nitto胶带将WS₂薄片转移到PDMS基材，再使用全干转移法将WS₂薄片转移到VO₂薄膜上获得Al₂O₃-VO₂-WS₂三层结构的测温平台；

该测温平台的使用方法包括以下步骤：

S1，取纯度≥99％、厚度为0.5cm～1cm的介质材料，对其进行超声波清洗后，将介质材料垂直放置在长度为7～15cm的石英槽(2)端部，向石英槽(2)内注入去离子水，使去离子水漫过介质材料顶部；

S2，调节掺钛蓝宝石自锁飞秒激光器(1)的光路，使激光光束依次穿过全反射镜、聚焦透镜和石英槽(2)侧壁，聚焦在介质材料后侧1.5cm～2.5cm处，介质材料表面的光斑直径为0.25cm～0.75cm，介质材料在激光作用下反应10min获得黄褐色的纳米颗粒悬浮液，将纳米颗粒悬浮液置于收集容器(3)中保存；

S3，将纳米颗粒悬浮液稀释至透明溶液，滴涂在WS₂薄片上自然蒸干，获得搭载有不同形态、不同数目介质纳米颗粒团簇的测温平台；

S4，将测温平台放置在加热板上，在外加电压作用下使测温平台的温度从35℃上升至90℃，使用万用电表检测VO₂薄膜的电阻，绘制电阻-温度曲线，将集成有石英钨卤素灯的暗场显微镜与光谱仪联用，检测测温平台的暗场散射光谱，得到不同温度下的峰值波长，由于测温平台峰值波长随温度的变化趋势与VO₂薄膜电阻随温度的变化趋势一致，将VO₂薄膜的电阻-温度曲线作为光热测量标尺；

S5，在光入射下使用加热板将测温平台加热至35℃、60℃和90℃，分别检测待检测纳米颗粒团簇的暗场散射光谱，获得待检测纳米颗粒团簇在相应加热温度下的实际峰值波长；

S6，按照下式对待检测纳米颗粒团簇的实际峰值波长进行归一化，将待检测纳米颗粒团簇在加热温度为35℃的实际峰值波长设置为1，在90℃的实际峰值波长设置为0，并获得待检测纳米颗粒团簇在加热温度为60℃时实际峰值波长的归一化值λ_x′；

其中λ_x表示待检测纳米颗粒团簇在加热温度为60℃时的实际峰值波长，x表示λ_x′在光热测量标尺中对应的实际温度，λ_90℃表示待检测纳米颗粒团簇在加热温度为90℃时的实际峰值波长，λ_35℃表示待检测纳米颗粒团簇在加热温度为35℃时的实际峰值波长；

S7，将λ_x′在光热测量标尺中对应的实际温度与加热温度60℃作差，获得待检测纳米颗粒团簇在光入射下的局部温度增量。

2.根据权利要求1所述基于WS₂、VO₂的测温平台的使用方法，其特征在于，所述S1使用的介质材料为Si、Ge、Se、Te或TiO₂。