[发明专利]内置式结构紧凑型旋转阴极装置

权利要求书

1.一种内置式结构紧凑型旋转阴极装置，其特征在于：包括阴极壳体、靶管、旋转驱动装置、冷却液管路、导电电刷及外部电源装置，其中所述靶管设置在所述阴极壳体内并通过单滚动轴承与所述旋转驱动装置构成传动连接以使所述靶管在所述旋转驱动装置的驱动下旋转，所述导电电刷与所述旋转驱动装置相连并与所述外部电源装置相导通，所述冷却液管路用于对所述靶管进行冷却。

2.根据权利要求1所述的一种内置式结构紧凑型旋转阴极装置，其特征在于：所述旋转驱动装置包括伺服电机、传动机构、芯轴传动机构，所述伺服电机通过所述传动机构与所述芯轴传动机构构成传动配合，所述芯轴传动机构与一靶管连接法兰相固定，所述靶管连接法兰与所述靶管相连接固定，使所述靶管在所述伺服电机的驱动下旋转。

3.根据权利要求1所述的一种内置式结构紧凑型旋转阴极装置，其特征在于：所述靶管设置有磁棒固定座，所述磁棒固定座的一端与所述阴极壳体相固定，另一端支撑所述靶管内的磁棒，所述磁棒与所述磁棒固定座之间构成限位约束，使所述靶管在所述旋转驱动装置的驱动下旋转时处于静止状态。

4.根据权利要求1所述的一种内置式结构紧凑型旋转阴极装置，其特征在于：所述冷却液管路包括冷却液管接头、冷却液进液通道、冷却液回流通道，其中所述冷却液管接头分别设置在所述阴极壳体的冷却液进口及冷却液出口位置，所述冷却液进口连通所述冷却液进液通道，所述冷却液进液通道通过所述磁棒及所述靶管连通所述冷却液回流通道。

5.根据权利要求4所述的一种内置式结构紧凑型旋转阴极装置，其特征在于：在所述冷却液进液通道及所述冷却液回流通道于所述靶管的进出位置设置有用于密封的动静环。

6.根据权利要求1所述的一种内置式结构紧凑型旋转阴极装置，其特征在于：所述外部电源装置包括外部导电块、内部导电板和绝缘底座，所述外部导电块和所述内部导电板相导通，所述内部导电板通过所述阴极壳体与所述导电电刷相导通，所述分体式碳刷通过芯轴传动机构时所述靶管带电。

7.根据权利要求6所述的一种内置式结构紧凑型旋转阴极装置，其特征在于：所述导电电刷为分体式电刷阵列机构。

8.根据权利要求7所述的一种内置式结构紧凑型旋转阴极装置，其特征在于：所述分体式碳刷通过碳刷弹簧压紧于所述芯轴传动机构上。

9.根据权利要求7所述的一种内置式结构紧凑型旋转阴极装置，其特征在于：所述导电电刷与用于实现冷却液密封的动静环处于同一高度。