[发明专利]一种新型全自动液氨气化生产氨水的新型装置及其工艺

说明书

本发明公开了一种新型全自动液氨气化生产氨水的新型装置及其工艺，属于氨水生产技术领域，包括：高效吸氨器，用以实现液氨稀释、气氨回收，高效吸氨器设置有液氨输入端a、氨气输出端b、冷却水输入端c、冷却水输出端d和氨水输出端e；冷却水循环机构，冷却水循环机构的输入端分别连接冷却水输入端c和冷却水输出端d，用以形成冷却水循环；连接机构，连接机构的输出端与液氨输入端a连接；液氨输入机构，液氨输入机构的输出端与连接机构的输入端连接，用以实现液氨和软水的输入；本发明可高效地将液氨稀释、气氨回收制备成工业氨水、试剂氨水、高纯氨水,其主要优点是稀释速度快、操作简单、无污染、节能显著。

技术领域

本发明涉及氨水生产技术领域，更具体地说，涉及一种新型全自动液氨气化生产氨水的新型装置及其工艺。

背景技术

随着半导体行业技术的迅猛发展，对超净高纯(Ultra-clean and High-purityReagent)的纯度的要求和标准也在不断提高，作为半导体行业中重要的电子级化学试剂之一，超纯氨水在半导体和化合物半导体器件制造中得以广泛的应用，其生产制备也得到越来越多的关注。

由于氨水中存在着金属离子和固体颗粒等杂质，对于产品的制造和产率来讲影响是非常大的，甚至对于线宽较小的集成电路，几个金属离子或灰尘颗粒就足以报废整个电路。因此，通常要求超纯氨水的纯度达到国际半导体设备和材料组织制定的化学材料部分SEMIC17.1-0298标准(Grade4，G4标准)。

超纯氨水生产中的关键在于解决去除金属离子杂质和颗粒杂质的问题。目前，关于高纯度氨水报道较少，而且现有技术主要通过液氨气化生产工业氨水、试剂氨水、高纯氨水，但是现有的液氨气化生产氨水的方法步骤繁琐，频繁使用高温、高压等生产条件，对安全生产极为不利，产品纯度也达不到一定要求，转换率低，造成生产成本提高，同时产生的废液对环境也造成污染。

发明内容

1.要解决的技术问题

针对现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种新型全自动液氨气化生产氨水的新型装置及其工艺，它可高效地将液氨稀释、气氨回收制备成工业氨水、试剂氨水、高纯氨水,其主要优点是稀释速度快、操作简单、无污染、节能显著。

2.技术方案

为解决上述问题，本发明采用如下的技术方案：

一种新型全自动液氨气化生产氨水的新型装置，包括：

高效吸氨器，用以实现液氨稀释、气氨回收，所述高效吸氨器设置有液氨输入端a、氨气输出端b、冷却水输入端c、冷却水输出端d和氨水输出端e；

冷却水循环机构，所述冷却水循环机构的输入端分别连接冷却水输入端c和冷却水输出端d，用以形成冷却水循环；

连接机构，所述连接机构的输出端与液氨输入端a连接；

液氨输入机构，所述液氨输入机构的输出端与连接机构的输入端连接，用以实现液氨和软水的输入；

软水输入机构，所述软水输入机构的输出端与连接机构的输入端连接，用以实现氨水的输入；

氨气回收机构，所述氨气回收机构的输入端与氨气输出端b连接，所述氨气回收机构还与软水输入机构连接，用以实现氨气的回收排放；

第八管道，所述第八管道与氨水输出端e连接，用以实现氨水的排出；

分流机构，所述分流机构的其中一个输入端与第八管道的输出端连接，且分流机构的其中一个输出端与液氨输入机构的输入端连接，用以实现氨水分流；

换热机构，所述换热机构的输入端与冷却水循环机构的输出端连接，且换热机构的输出端与分流机构的另一个输入端连接；

氨水储存机构，所述氨水储存机构的输入端与分流机构的另一个输出端连接；