[发明专利]一种镜片表面除尘和瑕疵检测装置及方法

权利要求书

1.一种镜片表面除尘和瑕疵检测装置，包括彼此连接的除尘舱(I)和检测舱(II)，所述除尘舱(I)包括除尘箱体(1)、高效送风系统(2)、真空抽气口(3)、镜片夹具(4)、上低温等离子体吹枪(5)、下低温等离子体吹枪(6)、上调节装置(7)、及下调节装置(8)；其中，

在所述除尘箱体(1)的内部设置有用于夹取及托运镜片(0)的机械手；

所述高效送风系统(2)设置于所述除尘箱体(1)的一侧，所述真空抽气口(3)设置于除尘箱体(1)的另一侧且与所述除尘箱体(1)内部连通；

所述镜片夹具(4)固定支撑于所述除尘箱体(1)的内部下方，所述镜片夹具(4)的上方伸出设置有左夹爪(4-1)和右夹爪(4-2)，镜片(0)位于所述左夹爪(4-1)与所述右夹爪(4-2)之间夹成的镜片槽中；

所述上低温等离子体吹枪(5)通过上调节装置(7)安装于除尘箱体(1)的内部顶部位置，所述上调节装置(7)可以带动上低温等离子体吹枪(5)在水平面内的前后及左右位置调节；

所述下低温等离子体吹枪(6)通过下调节装置(8)安装于除尘箱体(1)内部底部位置，所述下调节装置(8)可以带动下低温等离子体吹枪(6)在水平面内的前后及左右位置调节；

所述除尘舱(I)和检测舱(II)之间设置有传送通道(9)和传送伸缩装置(10)；传送伸缩装置(10)位于传送通道(9)内部并可沿前后方向带动上方镜片(0)前后伸缩运动，

所述检测舱(II)包括检测箱体、工业相机、相机安装架(11)、相机调节装置(12)、背景板(13)、背景板移动模组(14)、背光板(15)、背景板升降台(16)、背景板平移机构(17)及备用升降台(18)；

所述传送通道(9)开设于检测箱体的一侧墙板的内部；

所述工业相机安装于相机安装架(11)的前端下方，所述相机安装架(11)的后端固定安装于相机调节装置(12)上并可跟随相机调节装置(12)同步上下调节；

所述背景板(13)位于传送伸缩装置(10)的下方且其一端与背景板移动模组(14)连接，所述背景板移动模组(14)的上方设置有背景板平移机构(17)，所述背景板移动模组(14)的后方设置有背景板升降台(16)，所述背景板移动模组(14)在背景板平移机构(17)和背景板升降台(16)的作用下分别带动背景板(13)实现水平位置和竖直位置调节；

所述背光板(15)安装于检测箱体的底部，备用升降台位于背景板升降台(16)的一侧。

2.根据权利要求1所述的一种镜片表面除尘和瑕疵检测装置，其特征在于：所述除尘箱体(1)选用耐压壳体制作，且在所述除尘箱体(1)的外周设置有自动密闭门(1-1)。

3.根据权利要求1所述的一种镜片表面除尘和瑕疵检测装置，其特征在于：所述高效送风系统(2)内部设置有正压生风装置和多层过滤装置，正压生风装置产生的气体经多层过滤装置过滤后才进入除尘箱体(1)内部。

4.根据权利要求1所述的一种镜片表面除尘和瑕疵检测装置，其特征在于：所述真空抽气口(3)内部设置有真空负压产生装置。

5.根据权利要求1所述的一种镜片表面除尘和瑕疵检测装置，其特征在于：所述镜片夹具(4)选用气动或电动夹具，在所述镜片夹具(4)的内部设置有压力传感器，镜片夹具(4)在夹持镜片(0)时夹持位置位于镜片(0)的侧面。

6.根据权利要求1所述的一种镜片表面除尘和瑕疵检测装置，其特征在于：所述上低温等离子体吹枪(5)及下低温等离子体吹枪(6)利用低温等离子风除去镜片(0)表面的静电使得灰尘、异物及杂质与镜片表面脱离。

7.根据权利要求1所述的一种镜片表面除尘和瑕疵检测装置，其特征在于：所述上调节装置(7)和下调节装置(8)选用调节电机驱动下的双轴运动模组，所述调节电机选用无刷电机、步进电机、或伺服电机中的任意一种。

8.根据权利要求1所述的一种镜片表面除尘和瑕疵检测装置，其特征在于：所述背景板(13)选用明暗相间的扩散板、条纹状或格栅板。