[发明专利]一种单晶炉坩埚托盘的制备方法在审
| 申请号： | 202010898594.8 | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN111960841A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 杨浩 | 申请（专利权）人： | 陕西美兰德炭素有限责任公司 |
| 主分类号： | C04B35/83 | 分类号： | C04B35/83;C04B35/622;C30B35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710699 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 坩埚 托盘 制备 方法 | ||
1.一种单晶炉坩埚托盘的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
（1）、将碳纤维丝用裁剪机器裁剪成短纤维并进行分散处理；
（2）、将步骤（1）中裁剪好分散后的短纤维和酚醛树脂粉均匀混合，混合过程中充分搅拌；
（3）、根据埚托尺寸大小做出相适配的模具，将步骤（2）中混合好的短纤维均匀的洒在模具上，且用碳布、网胎、长纤维间隔铺层，短纤维和铺层的总厚度为成品埚托高度的三倍；
（4）、将步骤（3）中装好辅料的模具放入热压机中，调整好模具的位置后， 进行加压升温；
（5）、将步骤（4）压制成型的产品脱模后进行机械加工处理；
（6）、将步骤（5）中机加完成后的埚托进行气相沉积工艺处理或液相浸渍工艺处理；
（7）、将步骤（6）中增密完成的埚托进行高温提纯处理。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚托盘的制备方法，其特征在于：所述步骤（1）中，碳纤维丝的规格为12K,短纤维的长度为2-5mm。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚托盘的制备方法，其特征在于：所述步骤（2）中，混合比例为短纤维：酚醛树脂粉=3:2。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚托盘的制备方法，其特征在于：所述步骤（3）中，隔2-3cm的厚度中间用碳布、网胎、长纤维间隔铺层。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚托盘的制备方法，其特征在于：所述步骤（4）中，升温温度为RT-180℃，时间为0.5h-3h，加压压力为1MPa-15MPa。
6.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚托盘的制备方法，其特征在于：所述步骤（6）中，液相浸渍工艺处理的温度为RT- 180℃，时间为0.5h-3h，加压压力为1MPa-2MPa，并且浸渍固化的整个过程在真空压力炉内进行，用氮气加压。
7.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚托盘的制备方法，其特征在于：所述步骤（6）中，气相沉积工艺处理的温度为RT- 1050℃，时间为0.5h-100h。
8.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚托盘的制备方法，其特征在于：所述步骤（7）中，增密后的坩埚托盘在2300℃的温度下进行提纯处理。
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