[发明专利]一种高效控温单晶硅铸锭炉在审
申请号: | 202010896492.2 | 申请日: | 2020-08-31 |
公开(公告)号: | CN112195505A | 公开(公告)日: | 2021-01-08 |
发明(设计)人: | 陈春成;戚建静 | 申请(专利权)人: | 江苏晶品新能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人: | 艾秀丽 |
地址: | 225600 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高效 单晶硅 铸锭 | ||
1.一种高效控温单晶硅铸锭炉,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的顶部固定安装有支撑架(2),所述支撑架(2)的内部固定安装有铸锭炉本体(3),所述铸锭炉本体(3)的底部固定安装有限位框(4),所述限位框(4)的底部开设有限位槽(5),所述限位槽(5)的内部活动安装有密封框(7),所述密封框(7)的底部固定安装有底盖(8),所述限位槽(5)的左右两侧内壁均开设有位于限位框(4)内部的固定槽(9),所述密封框(7)的左右两侧均开设有凹槽(10),两个所述凹槽(10)的内部均固定安装有卡簧(11),两个所述卡簧(11)相背的一侧均固定安装有延伸至固定槽(9)内部的固定头(12),所述限位框(4)的左右两侧均固定安装有气动推杆(13),两个所述气动推杆(13)相对的一侧均固定安装有延伸至固定槽(9)内部的挤压杆(14),所述支撑架(2)的内部固定安装有动力座(15),所述动力座(15)的内部开设有活动腔(16),所述活动腔(16)的内部活动安装有活动块(17),所述支撑架(2)的顶部固定安装有动力电机(18),所述动力电机(18)的输出轴上固定安装有延伸至活动腔(16)的内部且贯穿活动块(17)的螺杆(29),所述活动块(17)的左侧固定安装有与底盖(8)固定连接的底架(19),所述支撑架(2)的内部正面固定安装有控制主机本体(20),所述控制主机本体(20)的左侧固定安装有密封座(21),所述密封座(21)的左侧开设有延伸至控制主机本体(20)内部的检修口(22),所述密封座(21)的左侧开设有延伸至检修口(22)内部的稳定槽(23),所述稳定槽(23)的内顶壁和内底壁均开设有位于密封座(21)内部的卡槽(24),所述稳定槽(23)的内部活动安装有密封板(25),所述密封板(25)的顶部和底部均开设有伸缩槽(26),两个所述伸缩槽(26)的内部均固定安装有伸缩簧(27),两个所述伸缩簧(27)相背的一侧均固定安装有延伸至卡槽(24)内部的卡头(28),所述密封座(21)的顶部和底部均开设有延伸至卡槽(24)内部的通口(6)。
2.根据权利要求1所述的一种高效控温单晶硅铸锭炉,其特征在于:所述限位槽(5)与密封框(7)均呈圆形,所述密封框(7)与限位槽(5)的内壁贴合。
3.根据权利要求1所述的一种高效控温单晶硅铸锭炉,其特征在于:两个所述固定头(12)的顶部均为斜面,所述斜面的倾斜角度为四十五度。
4.根据权利要求1所述的一种高效控温单晶硅铸锭炉,其特征在于:两个所述挤压杆(14)相对的一侧均固定安装有推块,所述推块与固定槽(9)的内壁贴合。
5.根据权利要求1所述的一种高效控温单晶硅铸锭炉,其特征在于:所述活动腔(16)与活动块(17)均呈矩形,所述活动块(17)的内部填充有润滑油。
6.根据权利要求1所述的一种高效控温单晶硅铸锭炉,其特征在于:所述活动块(17)的内部开设有位于螺杆(29)外部的螺孔,所述动力座(15)的左侧开设有延伸至活动腔(16)内部的滑口。
7.根据权利要求1所述的一种高效控温单晶硅铸锭炉,其特征在于:所述伸缩簧(27)的伸展长度小于伸缩槽(26)的深度,所述活动腔(16)的内底壁固定安装有滚珠轴承,所述螺杆(29)的底部与滚珠轴承的轴心固定连接。
8.根据权利要求1所述的一种高效控温单晶硅铸锭炉,其特征在于:所述动力电机(18)的底部固定安装有矩形板,所述矩形板通过螺丝与支撑架(2)的顶部固定连接。
9.根据权利要求1所述的一种高效控温单晶硅铸锭炉,其特征在于:两个所述卡头(28)的右侧均为斜面,所述动力座(15)的左侧固定安装有把手。
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