[发明专利]晶圆框架拣选及储料系统

权利要求书

1.一种系统，包括：

第一传送端口，被配置成从传送系统接收第一晶圆框架匣；

第二传送端口；

多个存储塔，各自包括多个存储槽；

机械臂，被配置成在所述第一传送端口处从所述第一晶圆框架匣撷取晶圆框架并将所述晶圆框架中的每一晶圆框架存储在所述多个存储槽中的相应的存储槽中，所述机械臂还被配置成将所述晶圆框架中的所选择的晶圆框架从所述所选择的晶圆框架的相应的存储槽中撷取出并在所述第二传送端口处将所述所选择的晶圆框架装载到第二晶圆框架匣中；以及

控制系统，被配置成记录在所述第一传送端口处接收的所述晶圆框架中的每一晶圆框架的身份，控制所述机械臂，并为所述晶圆框架中的每一晶圆框架记录存储地址数据，所述存储地址数据用于识别所述晶圆框架的所述存储槽。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述存储塔被排列成两行存储塔，其中所述机械臂位于所述两行存储塔之间。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述存储塔中的每一存储塔包括200个或更多个存储槽。

4.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一传送端口是被配置成从高架起重机传送系统接收晶圆框架匣的高架起重机传送端口。

5.根据权利要求1所述的系统，还包括条形码读取器，所述条形码读取器被配置成在所述第一传送端口处读取所述晶圆框架中的每一晶圆框架的条形码。

6.根据权利要求1所述的系统，还包括手动端口，其中所述控制系统被配置成控制所述机械臂从所述手动端口撷取晶圆框架以存储在所述存储塔中。

7.根据权利要求1所述的系统，还包括湿度控制系统，所述湿度控制系统被配置成控制所述存储塔中的一个或多个存储塔内的湿度。

8.根据权利要求7所述的系统，其中所述湿度控制系统包括湿度传感器及气体输出口，所述气体输出口被配置成通过输出气体来控制所述湿度。

9.一种方法，包括：

在第一传送端口处接收包括多个晶圆框架的第一晶圆框架匣；

使用机械臂将所述晶圆框架中的每一晶圆框架从所述第一晶圆框架匣传送到位于多个存储塔中的一个存储塔中的相应的存储槽中；

使用所述机械臂将所述晶圆框架从所述晶圆框架的相应的存储槽中撷取出；

使用所述机械臂将所述晶圆框架传送到在第二传送端口处的第二晶圆框架匣；

使用控制系统控制所述机械臂；以及

使用所述控制系统记录所述多个晶圆框架中的每一晶圆框架的存储位置。

10.根据权利要求9所述的方法，还包括：

控制所述存储塔中的每一存储塔内的湿度。

11.根据权利要求10所述的方法，其中控制所述湿度包括：

感测所述湿度并响应于所感测的所述湿度而输出气体。

12.根据权利要求9所述的方法，还包括：

在从所述第一传送端口传送所述晶圆框架之前，扫描所述晶圆框架中的每一晶圆框架的条形码。

13.根据权利要求9所述的方法，其中所述机械臂位于所述多个存储塔中的两行存储塔之间。