[发明专利]一种配气阀岛及废气处理设备的配气方法

说明书

本发明实施例提供一种配气阀岛及废气处理设备的配气方法，该配气阀岛包括：储气室，储气室连通配气口；气路切换单元，气路切换单元包括多个，气路切换单元分别连通进气口、排气口及储气室，用于控制进气口、排气口对应与储气室的连通状态的切换；本发明实现了配气结构的集成化和简约化，便于进行清洗、分体拆卸及故障点查询，在用于废气处理设备的配气时，可大幅度提升对废气的输入效率，确保了配气的稳定性，还可基于配气阀岛的排气设置，便于在废气处理设备停机时对未处理完的废气进行有效处理。

技术领域

本发明涉及气体分配阀技术领域，尤其涉及一种配气阀岛及废气处理设备的配气方法。

背景技术

在半导体制程中，会产生具有强烈腐蚀性的半导体废气，其中，半导体废气包括氯气、氯化氢、氟化氢、氟气、氨气等。由于半导体废气具有有毒、有害及易燃易爆的特性，从而采用燃烧式废气处理设备对半导体废气进行统一的燃烧处理。

当前，在进行半导体废气的燃烧处理时，通常将各个半导体产线产出的废气通过输气主管向废气处理设备输送，在输气主管的末端由多根支气管一一连通废气处理设备上的各个废气入口，在输气的过程中，通过控制各个支气管上配气阀的开度与输气压力，以确保半导体废气燃烧处理的稳定性与可靠性。

然而，在实际应用中发现，基于各个配气阀的配气结构复杂，在进行设备维护时，对各个配气阀的清洗操作存在费时、费力的问题，并且不便于进行故障查找。在配气领域，尽管还广泛采用由多个配气阀组装而成的配气阀岛，但是，现有配气阀岛只具有集中配气的功能，配气并不稳定，在废气处理设备因临时故障及其它原因而停机时，废气处理设备内还存在大量的未处理完的废气，配气阀岛难以对这些未处理完的废气进行有效处理，如果不对废气进行及时处理，将存在较大的安全隐患，而直接将废气排向大气环境，又存在严重的环境污染。

发明内容

本发明实施例提供一种配气阀岛及废气处理设备的配气方法，用以解决现有的配气阀岛只用于集中配气，配气不稳定，难以对废气处理设备未处理完的废气进行有效处理的问题。

本发明实施例提供一种配气阀岛，包括：储气室，所述储气室连通配气口；气路切换单元，所述气路切换单元包括多个，所述气路切换单元分别连通进气口、排气口及所述储气室，用于控制所述进气口、所述排气口对应与所述储气室的连通状态的切换。

根据本发明一个实施例的配气阀岛，所述气路切换单元包括换向阀，所述换向阀上的三个端口对应连通所述进气口、所述排气口及所述储气室。

根据本发明一个实施例的配气阀岛，所述气路切换单元包括换向阀与开关阀，所述排气口形成于所述进气口的侧壁上，所述换向阀上的三个端口对应连通所述进气口、所述排气口及所述开关阀的一端，所述开关阀的另一端连通所述储气室。

根据本发明一个实施例的配气阀岛，还包括：配气室，所述储气室连通所述配气室，所述配气室的室壁上形成有多个所述配气口。

根据本发明一个实施例的配气阀岛，所述储气室通过多个转接气道连通所述配气室。

根据本发明一个实施例的配气阀岛，所述气路切换单元与所述转接气道一一对应，所述气路切换单元靠近所述储气室的一端通过泄压通道连通所述转接气道，所述泄压通道上装有安全阀。

根据本发明一个实施例的配气阀岛，所述储气室内装有压力检测装置与气体成分分析装置。

根据本发明一个实施例的配气阀岛，所述储气室的外室壁上连接有固定座。

本发明实施例还提供一种如上所述的配气阀岛的废气处理设备的配气方法，包括：在废气处理设备启动燃烧作业时，控制气路切换单元处于第一切换状态，使得进气口与储气室相连通，由配气口对废气处理设备配气；在废气处理设备停机时，控制气路切换单元处于第二切换状态，使得排气口与储气室相连通，将发生停机的废气处理设备内未处理的废气通过排气口排放至其它正常作业的废气处理设备内。