[发明专利]利用ECR氩等离子体溅射法制备的亲油/疏水油水分离碳膜及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种利用ECR氩等离子体溅射法制备亲油/疏水油水分离碳膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）将双通阳极氧化铝模板放入等离子体腔体中，将腔体内抽真空，当腔体内真空度抽到4×10^-4Pa后，通入氩气，使腔内的气压升高到4×10^-2Pa，双通阳极氧化铝模板的孔径为100nm、200nm或300nm；

2）施加420A的磁线圈电流和100mA的微波，使通入的氩气离化，得到高离化率、高密度的氩等离子体；

3）给碳靶施加-300V直流偏压和+50V的基片偏压，碳原子在双通阳极氧化铝模板表面沉积60min，亲油/疏水油水分离碳膜的沉积速率为3.4 nm/min，在双通阳极氧化铝模板表面制得亲油/疏水油水分离碳膜；制备亲油/疏水油水分离碳膜的方法还包括将亲油/疏水油水分离碳膜从双通阳极氧化铝模板表面分离的操作：在双通阳极氧化铝模板表面的亲油/疏水油水分离碳膜上自旋涂覆一层硅胶体，去除双通阳极氧化铝模板，得到亲油/疏水油水分离碳膜；

油在亲油/疏水油水分离碳膜上的平均接触角为10.47-11.01°，水在亲油/疏水油水分离碳膜上的平均接触角为103.21-104.49°；亲油/疏水油水分离碳膜的厚度为200nm。

2.根据权利要求1所述的利用ECR氩等离子体溅射法制备亲油/疏水油水分离碳膜的方法，其特征在于，还包括将亲油/疏水油水分离碳膜转移至具有通过性或吸油特性的基体上的操作。

3.根据权利要求1所述的利用ECR氩等离子体溅射法制备亲油/疏水油水分离碳膜的方法，其特征在于，双通阳极氧化铝模板为镀铝的双通阳极氧化铝模板。

4.采用权利要求1-3任一项所述方法制备的亲油/疏水油水分离碳膜。

5.权利要求4所述的亲油/疏水油水分离碳膜作为过滤膜的应用，其特征在于，该过滤膜应用于油水分离或石油污染水源过滤清除中。