[发明专利]温压一体传感器的智能控制系统及温压一体传感器

说明书

本发明公开了一种温压一体传感器智能控制系统及温压一体传感器。所公开的智能控制系统包括信号处理模块,所述信号处理模块用于对传感器检测到的温度t下的压力y进行修正，得到修正后的压力P′(t,y)，所述P′(t,y)＝y+△p(y)，所述的温压一体传感器为包括本发明的智能控制系统的温压一体传感器。本发明的智能控制系统，极大的提高了温度与压力测量精度。本发明的智能控制系统具有自动温度补偿、压力温度的功能，适用温度范围宽，测量精度高特点。

技术领域

本发明涉及温度压力测量领域，具体涉及一种基于溅射薄膜温压一体传感器的智能控制系统。

背景技术

温压一体传感器(本文简称传感器)是一种综合了温度传感器和压力传感器双重功能的传感器，既可以测量温度也可以测量压力，例如，基于溅射薄膜温压一体传感器。目前，中国市场上麦克、昆仑中大、昆仑海岸等公司，可测介质温度-20℃～85℃，压力精度为±0.3％FS；中国以外市场上有美国GEMS、德国TURCK、韩国Autonics等溅射薄膜压力传感器，可测介质温度范围-40℃～125℃，压力精度可以达到±0.25％FS，温度精度为±1.5℃。

由于在宽温范围内器件存在温漂，一些传感器的压力与温度测量精度低，测量介质温度范围不广。

发明内容

针对现有技术的缺陷或不足，本发明提供了一种温压一体传感器智能控制系统。

为此，本发明所提供的温压一体传感器智能控制系统包括信号处理模块,所述信号处理模块用于对传感器检测到的温度t下的压力y进行修正，得到修正后的压力P′(t,y)，所述P′(t,y)＝y+△p(y)，其中：

p_i(t)≤y≤p_i+1(t)，t_j≤t≤t_j+1，j＝1,2,…,J-1,i＝1,2,…,I-1；

△p_i,j＝p_i,j-p_i,0，t_j≤t≤t_j+1，j＝1,2,…,J-1；

t_j≤t≤t_j+1，j＝1,2,…,J-1；

p_i,j为预设或存储在控制系统或信号处理模块中的传感器在温度t_j、实际压力P_i时传感器的实测压力,其中p_i,0为传感器在标定温度t₀、实际压力P_i时的标定实测压力，j＝0,1,2,…,J；J≥2；且t₁～t_J的温度取值依次增大或依次减小，i＝1,2,…,I；I≥2；I个不同的压力值选自传感器的标定压力范围。

可选的，所述标定温度t₀取自传感器的可测温度范围内任一值或常温。

可选的，所述信号处理模块为可编程信号处理模块。

进一步，还包括输出模块；所述信号处理模块将温度t和修正后的压力P′(t,y)传输给输出模块；所述输出模块用于将测量温度和修正后的压力输出。

进一步，所述系统还包括信号调理模块，用于对传感器检测到的温度t和压力y信号进行放大和调理，之后传输给信号处理模块。