[发明专利]一种石英深孔抛光装置及抛光方法

权利要求书

1.一种石英深孔抛光装置，用于对石英加工件(100)上的各个深孔(110)进行抛光，石英加工件(100)的各个深孔(110)轴线平行且贯穿石英加工件(100)，其特征在于，包括定夹持块(210)、动夹持块(220)、上密封罩(300)、抛光液盒(400)及抛光组件；

石英加工件(100)夹持在定夹持块(210)及动夹持块(220)之间，所述动夹持块(220)可拆卸地与定夹持块(210)固定连接；所述抛光液盒(400)沿深孔(110)的轴线方向设置在石英加工件(100)的中下部使得石英加工件(100)的一端伸入抛光液盒(400)内，上密封罩(300)内设有抛光液腔(310)，上密封罩(300)沿深孔(110)的轴线方向罩设在石英加工件(100)的中上部使得石英加工件(100)的另一端伸入抛光液腔(310)内；

所述抛光组件对应深孔(110)设置，包括：夹持杆(510)及抛光毛毡(520)，整形为设定形状的抛光毛毡(520)可拆卸地固定在夹持杆(510)的一端，所述夹持杆(510)固定在机床主轴上；所述抛光毛毡(520)的直径大于对应的深孔(110)直径0.3mm-0.5mm。

2.根据权利要求1所述的石英深孔抛光装置，其特征在于，所述定夹持块(210)及动夹持块(220)的上表面垫设缓冲垫(600)，所述缓冲垫(600)的中部设有第一通孔，所述缓冲垫(600)通过所述第一通孔套设在石英加工件(100)的外侧，所述上密封罩(300)设置在缓冲垫(600)的上方使得上密封罩(300)的下表面与缓冲垫(600)的上表面贴合接触。

3.根据权利要求1所述的石英深孔抛光装置，其特征在于，所述上密封罩(300)的表面向内凹陷有所述抛光液腔(310)，所述抛光液腔(310)的底面中心设有第二通孔(320)，所述上密封罩(300)通过所述第二通孔(320)罩设在石英加工件(100)的外侧并使得石英加工件(100)的顶端伸入所述抛光液腔(310)内；所述第二通孔(320)内设有套设在石英加工件(100)外表的密封圈(700)，所述密封圈(700)的一侧与石英加工件(100)的外壁贴合，另一侧与第二通孔(320)的侧壁贴合。

4.根据权利要求1所述的石英深孔抛光装置，其特征在于，所述抛光毛毡(520)设置为圆柱状，可在其表面设置螺旋线凹槽或者设置与轴线平行的直线凹槽以进行整形。

5.一种采用如权利要求1-4中任意一项所述的抛光装置的石英深孔抛光方法，其特征在于，包括以下步骤：

对抛光毛毡进行整形，抛光毛毡的直径大于对应的深孔直径0.3mm-0.5mm；

将抛光毛毡固定在夹持杆的端部，并将夹持杆固定在机床主轴上；

将石英加工件固定在定夹持块与动夹持块之间；

将抛光液盒放置在石英加工件下方，上密封罩罩设在石英加工件上方，并分别向抛光液盒及上密封罩内注入抛光液；

调整机床主轴，使得机床主轴的轴线与深孔的轴线对齐；

设置机床工作参数；

启动机床，使得抛光毛毡在自转的同时沿深孔的轴向做往复运动；

关闭机床，将石英加工件由定夹持块和动夹持块之间卸下，并进行清洗。

6.根据权利要求5所述的石英深孔抛光方法，其特征在于，所述分别向抛光液盒及上密封罩内注入抛光液，具体包括：向抛光液盒内注入抛光液使得石英加工件的底面浸入抛光液内；向上密封罩内注入抛光液使得石英加工件的顶面与抛光腔内的抛光液液面平齐。

7.根据权利要求6所述的石英深孔抛光方法，其特征在于，向抛光液盒内注入的抛光液的体积大于待加工深孔体积的二倍。

8.根据权利要求7所述的石英深孔抛光方法，其特征在于，所述设置机床工作参数，具体包括：设置机床主轴转速范围为2000r/min-5000r/min，进给速度为100mm/min，抛光往复次数为50次-100次。