[发明专利]一种高致密锇靶材的制备方法有效
申请号: | 202010881638.6 | 申请日: | 2020-08-27 |
公开(公告)号: | CN112144023B | 公开(公告)日: | 2022-11-29 |
发明(设计)人: | 吕宏;谢元锋;夏扬;张超 | 申请(专利权)人: | 有研工程技术研究院有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;B22F5/00;B22F3/14 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 刘秀青 |
地址: | 101407 北京市怀*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 致密 锇靶材 制备 方法 | ||
1.一种高致密锇靶材的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)称取锇粉、碳粉,在混料机中混合6~24小时,得到混合均匀的锇粉、碳粉混合粉末,其中,碳粉占锇粉、碳粉混合粉末总重量的0.01%-0.05%;
(2)将锇粉、碳粉混合粉末装在烧结用模具中,将模具放入真空热压炉中,于1400~1700℃,热压烧结30~120分钟,其中,热压机的上、下压头对准模具上、下压头,抽真空,真空度低于10Pa后开始升温,从室温升温到1100℃时,保温30~60分钟,热压炉不加压;然后继续升温,开始逐渐加压,到1400℃以上时,热压炉压头压力升高到20MPa进行热压烧结;
(3)冷却到室温后,去除真空,脱模,获得烧结成型的高致密锇靶材坯料,然后通过线切割加工或者磨床磨削,得到高致密锇靶材。
2.根据权利要求1所述的高致密锇靶材的制备方法,其特征在于,碳粉纯度高于99.9%,平均粒度10μm。
3.根据权利要求1所述的高致密锇靶材的制备方法,其特征在于,锇粉的平均粒径为0.1μm~40μm,纯度为99%以上。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于有研工程技术研究院有限公司,未经有研工程技术研究院有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010881638.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类