[发明专利]一种高致密锇靶材的制备方法有效

专利信息
申请号: 202010881638.6 申请日: 2020-08-27
公开(公告)号: CN112144023B 公开(公告)日: 2022-11-29
发明(设计)人: 吕宏;谢元锋;夏扬;张超 申请(专利权)人: 有研工程技术研究院有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;B22F5/00;B22F3/14
代理公司: 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 代理人: 刘秀青
地址: 101407 北京市怀*** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 致密 锇靶材 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种高致密锇靶材的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)称取锇粉、碳粉,在混料机中混合6~24小时,得到混合均匀的锇粉、碳粉混合粉末,其中,碳粉占锇粉、碳粉混合粉末总重量的0.01%-0.05%;

(2)将锇粉、碳粉混合粉末装在烧结用模具中,将模具放入真空热压炉中,于1400~1700℃,热压烧结30~120分钟,其中,热压机的上、下压头对准模具上、下压头,抽真空,真空度低于10Pa后开始升温,从室温升温到1100℃时,保温30~60分钟,热压炉不加压;然后继续升温,开始逐渐加压,到1400℃以上时,热压炉压头压力升高到20MPa进行热压烧结;

(3)冷却到室温后,去除真空,脱模,获得烧结成型的高致密锇靶材坯料,然后通过线切割加工或者磨床磨削,得到高致密锇靶材。

2.根据权利要求1所述的高致密锇靶材的制备方法,其特征在于,碳粉纯度高于99.9%,平均粒度10μm。

3.根据权利要求1所述的高致密锇靶材的制备方法,其特征在于,锇粉的平均粒径为0.1μm~40μm,纯度为99%以上。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于有研工程技术研究院有限公司,未经有研工程技术研究院有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010881638.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top