[发明专利]集成光学器件、集成投射模组和集成光学器件的制作工艺

权利要求书

1.一种集成光学器件，其特征在于，包括依次叠置的保护层(10)、第一胶层(20)、第二胶层(30)和固定层(40)，所述集成光学器件还包括：

衍射结构(21)；

匀光结构(31)；

其中，所述衍射结构(21)设置在所述第一胶层(20)上，所述匀光结构(31)设置在第二胶层(30)上，所述衍射结构(21)和所述匀光结构(31)向所述固定层(40)的投影不重合；或者所述衍射结构(21)设置在所述第二胶层(30)上，所述匀光结构(31)设置在第一胶层(20)上，所述衍射结构(21)和所述匀光结构(31)向所述固定层(40)的投影不重合。

2.根据权利要求1所述的集成光学器件，其特征在于，所述固定层(40)包括：

连接胶层(41)；

基底层(42)，所述第二胶层(30)通过所述连接胶层(41)与所述基底层(42)连接。

3.根据权利要求2所述的集成光学器件，其特征在于，

所述保护层(10)的材料包括聚对苯二甲酸乙二醇酯或玻璃中的一种；和/或

所述基底层(42)的材料包括聚对苯二甲酸乙二醇酯或玻璃中的一种；和/或

所述第一胶层(20)的折射率n1大于所述第二胶层(30)的折射率n2；和/或

所述第二胶层(30)的折射率n2小于所述连接胶层(41)的折射率n3；和/或

所述第一胶层(20)的厚度大于等于1微米且小于等于10微米；和/或

所述第二胶层(30)的厚度大于等于10微米且小于等于100微米；和/或

所述连接胶层(41)的厚度大于等于10微米且小于等于100微米。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的集成光学器件，其特征在于，所述衍射结构(21)是衍射光栅，

所述衍射光栅的线宽大于等于100纳米且小于等于500纳米；和/或

所述衍射光栅的深度大于等于500纳米且小于等于1500纳米。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的集成光学器件，其特征在于，所述匀光结构(31)设置在所述第二胶层(30)上，所述匀光结构(31)包括多个微透镜(311)，多个所述微透镜(311)设置在所述第二胶层(30)靠近所述固定层(40)的一侧上，且所述微透镜(311)与所述固定层(40)连接，

所述微透镜(311)的高度大于等于3微米且小于等于50微米；和/或

所述微透镜(311)的直径大于等于3微米且小于等于50微米。

6.一种集成投射模组，其特征在于，包括：

权利要求1至5中任一项所述的集成光学器件(50)；

激光结构(70)，所述激光结构(70)设置在所述集成光学器件(50)的固定层(40)远离所述集成光学器件(50)的保护层(10)的一侧；

透镜(60)，所述透镜(60)设置在所述集成光学器件(50)与所述激光结构(70)之间，且所述透镜(60)与所述集成光学器件(50)的衍射结构(21)向所述激光结构(70)的投影至少部分重合；

投射结构(80)，所述投射结构(80)与所述激光结构(70)电连接，所述投射结构(80)用于向物体(90)发射光线和接收所述物体(90)的反射光线，所述集成投射模组测量所述集成投射模组与所述物体(90)之间的距离L，并将所述距离L反馈给所述激光结构(70)，所述激光结构(70)根据所述距离L的大小对所述集成光学器件(50)的匀光结构(31)或所述衍射结构(21)发射激光。