[发明专利]一种电子工业洁净厂房回风除尘装置

说明书

本发明公开了一种电子工业洁净厂房回风除尘装置，属于电子工业洁净厂房相关技术领域，包括底座、回风静压箱、第一回风除尘装置、第二除尘滤芯和第二百叶，所述底座的上方安装有箱体，箱体的内部下方设置为回风静压箱，箱体的内部上方设置为送风静压箱；所述回风静压箱的左右两侧分别设置有第一回风除尘装置和第二回风除尘装置；所述第一回风除尘装置上安装有第一除尘滤芯，第二回风除尘装置上安装有第二除尘滤芯；所述第一除尘滤芯上设置有第一百叶，第二除尘滤芯上设置有第二百叶。本发明通过设置的第一回风除尘装置和第二回风除尘装置的配合使用，能够更好的控制洁净厂房洁净度，并且延长FFU风机过滤机组的使用寿命。

技术领域

本发明属于电子工业洁净厂房相关技术领域，具体是一种电子工业洁净厂房回风除尘装置。

背景技术

电子工业洁净厂房生产环境的设计应根据生产工艺的要求控制微粒对产品质量有害的杂质，同时还应提出温度、湿度、压差、噪声、震动、静电防护、照度等参数要求。

为保证产品生产环境或其他用途的洁净室所要求的空气洁净度，要采取多种综合技术措施才能达到要求。这些综合技术措施包括：应采用产生污染物少的生产工艺及设备，或采取必要的隔离和负压措施防止生产工艺产生的污染物质向周围扩散，采用产尘少、不易滋生微生物的室内装修材料及工器具；减少人员及物料带入室内的污染物质；维持生产环境相对于室外或空气洁净度等级要求低的邻室有一定的正压，防止室外或邻室的空气携带污染物质通过门窗或其他缝隙、孔洞侵人；加强洁净室的管理，按规定进行清扫、灭菌等。

除采取上述各种技术措施之外，为使生产环境或其他用途的洁净室室内环境控制在所要求的空气洁净度等级，重要的技术措施是需要送入足够量的经过处理的清洁空气，以替换或稀释室内在正常工作时所产生的污染物质污染后的空气。洁净室的空气净化处理就是根据房间不同的洁净度等级要求，采用不同方式送入经过处理的数量不等的清洁空气，同时排走相应数量的携带有在室内所产生的污染物质沾污的脏空气，靠这样的动态平衡，使室内环境维持在所需的空气洁净度等级。

目前洁净室对送入空气的净化方法，最重要和使用最广泛的方式是空气过滤法。送入洁净室的清洁空气，主要是靠在送风系统的各部位设置不同性能的空气过滤器，用以除去空气中的悬浮粒子和微生物。近年来，根据超大规模集成电路及其他一些电子工业生产的微细化和精密化要求，还需去除空气中浓度极微的化学污染物或分子污染物。为此，在洁净室的送风、回风系统应增设各种类型的化学过滤器、吸附过滤器、吸收装置等。

目前回风静压箱内空气是通过垂直正压的压差及循环风机的共同作用，由回风静压箱内运送到送风静压箱内，再通过在顶部设置FFU风机过滤机组等系统，把空气污染物质过滤后，送入洁净室内；如图1所示，由于回风静压箱内的尘粒和微生物等物质易受到气流扰动，使回风气体受到污染，所以在通过FFU风机过滤机组时会增加过滤器工作压力，而降低高效过滤器使用寿命，增加生产成本。而FFU风机过滤机组对回风过滤不够时，尘粒和微生物等物质有可能会污染洁净室内空气，或是由于气流作用回风静压箱内的尘粒和微生物等物质受到扰动而再次滞留在洁净室内，以此循环降低洁净室内空气洁净度，对洁净工作环境产生不良的影响。

发明内容

本发明的目的在于提供一种电子工业洁净厂房回风除尘装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种电子工业洁净厂房回风除尘装置，包括底座、回风静压箱、第一回风除尘装置、第二除尘滤芯和第二百叶，所述底座的上方安装有箱体，箱体的内部下方设置为回风静压箱，箱体的内部上方设置为送风静压箱，回风静压箱和送风静压箱之间安装有FFU风机过滤机组，FFU风机过滤机组的左右两侧均设置有循环风机；所述回风静压箱的左右两侧分别设置有第一回风除尘装置和第二回风除尘装置；所述第一回风除尘装置上安装有第一除尘滤芯，第二回风除尘装置上安装有第二除尘滤芯；所述第一除尘滤芯上设置有第一百叶，第二除尘滤芯上设置有第二百叶。