[发明专利]一种用于电子级二氧化硅蚀刻液的制备装置及制备工艺

权利要求书

1.一种用于电子级二氧化硅蚀刻液的制备装置，其特征在于，包括：

用于储备原料氢氟酸的第一储槽；

用于储备原料氟化铵的第二储槽；

用于储备原料表面活性剂的第三储槽；

用于储备原料超纯水的第四储槽；

混配槽；以及

精密过滤器；

所述第一储槽、所述第二储槽、所述第三储槽和所述第四储槽均同所述混配槽选择性地连通，所述混配槽的出口同所述精密过滤器的进口连通；

所述混配槽包括：槽体、槽盖、辅混管；所述辅混管配置有动力泵，其出口端设于所述槽体的底壁并靠近所述槽体的侧壁设置，其进口端设于所述槽体的另一侧侧壁并靠近所述槽体的顶部设置；所述进口端和所述出口端相向设置；所述进口端的口部具有扩径段，所述扩径段的扩径方向沿所述槽体的长度方向设置，沿所述进口端的进流方向，所述扩径段的扩径量递减；

所述辅混管的管体还配置有取样机构，所述取样机构包括：取样件、输出管、取样芯和驱动组件；

所述取样件具有呈圆筒状的内腔，所述取样件同所述辅混管的管体连接，所述内腔同所述辅混管的管体连通；所述输出管同所述取样件连接，所述输出管同所述内腔连通；所述取样芯呈圆筒状，所述取样芯可转动地配合于所述内腔，所述取样芯的外壁均同所述取样件的内壁转动密封；

所述取样芯的中部具有对称设置的两个取样槽，所述取样槽由所述取样芯的侧壁凹陷形成；所述取样芯同所述驱动组件传动连接，以使所述取样芯能够在转动过程中将所述辅混管中的液体转送至所述输出管；

所述输出管的管壁设置有对称设置的吹气管，所述吹气管朝向所述取样槽的口部设置，用于将取样槽中以及取样芯的外壁残留的混配液吹落。

2.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于，所述取样槽由所述取样芯的侧壁沿其径向凹陷形成，沿所述取样槽的凹陷方向，所述取样槽的宽度递减。

3.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于，所述取样芯的转动轴心线垂直于取样位置处的所述辅混管的管体的轴心线设置。

4.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于，所述取样机构还包括：传送组件；所述传送组件包括转盘、第一滑槽、第二滑槽和驱动器；所述第一滑槽呈弧状并围绕所述转盘设置，所述转盘具有用于容纳样杯的缺口，所述缺口由所述转盘的边缘沿其径向凹陷形成，以使所述转盘在转动过程中能够利用所述缺口推动所述样杯沿所述第一滑槽滑动；所述第二滑槽设于所述第一滑槽的尾端，以用于承接由所述第一滑槽滑出的所述样杯，从而将所述样杯导出；所述驱动器同所述转盘传动连接，以间歇式地驱动所述转盘。

5.根据权利要求4所述的制备装置，其特征在于，所述传送组件还包括杯筒；所述杯筒设于所述转盘的上方并朝向所述滑槽设置，已用于向所述缺口输送所述样杯。

6.一种利用如权利要求1～5任意一项所述的制备装置制备电子级二氧化硅蚀刻液的制备工艺，其特征在于，包括：按预设比例于所述混配槽中混配原料氢氟酸、原料氟化铵、原料表面活性剂和原料超纯水，经所述精密过滤器过滤后分装入库。