[发明专利]抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法在审
| 申请号： | 202010859849.X | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN112445067A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 砂道智成;中川裕介;米村幸治;平野智之;齐藤彩 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 陈亦欧;毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 以及 图案 形成 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种抗蚀剂组合物，其通过曝光产生酸并且对显影液的溶解性因酸的作用而变化，其特征在于，含有：
对显影液的溶解性因酸的作用而变化的基材成分(A)；与
重均分子量为400以上的聚醚化合物，
相对于所述基材成分(A)100质量份，所述聚醚化合物的含量为0.8～32质量份，
固体成分浓度为25质量％以上。
2.如权利要求1所述的抗蚀剂组合物，其特征在于，还含有通过曝光产生酸的产酸剂成分(B)，所述产酸剂成分(B)包含由鎓盐构成的化合物(B1)。
3.一种抗蚀剂图案形成方法，其特征在于，具有：在支承体上使用权利要求1或者2所述的抗蚀剂组合物形成抗蚀剂膜的工序；将所述抗蚀剂膜曝光的工序；对所述曝光后的抗蚀剂膜进行显影从而形成抗蚀剂图案的工序。
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