[发明专利]一种传感器隔热结构

说明书

本发明提供一种传感器隔热结构，包括：基座、隔热板和连接支座，所述基座具有相对的顶面和底面，所述隔热板通过所述连接支座间隔设置于所述基座的顶面上，所述连接支座包括沿轴向依次连接的第一部分和第二部分，所述第一部分用于穿设于所述基座，所述第二部分用于卡接所述隔热板以限定所述隔热板的位置。与现有技术相比，由于所述隔热板通过所述连接支座与所述基座间隔设置，不再通过橡胶隔圈点胶的方式，因此不会出现胶水因受到高低温循环冲击而失效的情况；此外，所述连接支座的一部分卡接所述隔热板以对所述隔热板的位置进行限定，另一部分穿设于所述基座来进行其本身位置的固定，相对点胶固定的方式来说，装配精度更高且更为简便。

技术领域

本发明涉及光刻设备技术领域，特别涉及一种传感器隔热结构。

背景技术

现有光刻机上传感器隔热结构采用橡胶隔圈点胶的方法将隔热板安装在基座上，隔热板的作吸是吸收光斑带来的大量的热，分布点胶的橡胶隔圈是为了防止隔热板上吸收的热量传递到基座上。

由于实际使用时，存在传感器间歇性接收到大量的热的工况，即会有冲击热载荷的工况存在，因此在隔圈点胶的部位存在高低温循环的情况，导致该结构对胶水的特性要求较高，而且受热之后胶水容易失效。另外，由于点胶工艺的存在导致隔热板与基座之间的工艺较复杂，隔热板和基座之间的位置误差难以保证，装配耗费时间较长。

发明内容

本发明的目的在于提供一种传感器隔热结构，以解决现有传感器隔热结构存在的一个或多个问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种传感器隔热结构，包括：基座、隔热板和连接支座，所述基座具有相对的顶面和底面，所述隔热板通过所述连接支座间隔设置于所述基座的顶面上，所述连接支座包括沿轴向依次连接的第一部分和第二部分，所述第一部分用于穿设于所述基座，所述第二部分用于承接所述隔热板以限定所述隔热板的位置。

可选的，在所述的传感器隔热结构中，所述第一部分包括铰链组件和固定杆，所述铰链组件的一端连接所述第二部分，所述铰链组件的另一端连接所述固定杆，所述固定杆用于将所述铰链组件固定于所述基座。

可选的，在所述的传感器隔热结构中，所述铰链组件包括第一柔性铰链和第二柔性铰链，所述第一柔性铰链沿轴向设置，所述第二柔性铰链沿径向设置，且所述第一柔性铰链相对于所述第二柔性铰链更靠近所述第二部分。

可选的，在所述的传感器隔热结构中，所述基座具有沉孔，所述固定杆具有沿周向设置的第一凸环，所述第一凸环设于所述固定杆与所述铰链组件相连接的一端，所述固定杆通过所述第一凸环与所述沉孔的沉孔面相接触。

可选的，在所述的传感器隔热结构中，所述第一凸环具有装配部，所述第一凸环通过所述装配部与所述沉孔面相接触，所述装配部的截面宽度从靠近所述铰链组件的一端至远离所述铰链组件的一端逐渐减小直至为0。

可选的，在所述的传感器隔热结构中，所述固定杆具有沿周向设置的第二凸环，所述第二凸环设于所述沉孔面的远离所述第一凸环的一侧，所述第二凸环与所述沉孔的内壁相接触。

可选的，在所述的传感器隔热结构中，所述固定杆沿周向设置有螺纹，所述螺纹设于所述固定杆的靠近所述基座的底面的一端，所述第一部分还包括螺母，所述螺母与所述螺纹配合使用，以限定所述固定杆与所述基座的相对位置。

可选的，在所述的传感器隔热结构中，所述隔热板具有定位口，所述第二部分具有工型槽，所述第二部分至少部分沿径向通过所述工型槽卡接在所述定位口内。

可选的，在所述的传感器隔热结构中，所述传感器隔热结构包括至少2个所述连接支座，所有所述连接支座沿周向均匀排布。

可选的，在所述的传感器隔热结构中，所述基座和所述隔热板均具有通孔，且所述基座的通孔和所述隔热板的通孔在轴向上对应设置，以用于所述传感器隔热结构的对外安装。