[发明专利]一种PVD真空镀膜机

权利要求书

1.一种PVD真空镀膜机，其特征在于：包括机壳，所述机壳从上至下依次设置有上清洁仓、工作仓和下清洁仓，所述上清洁仓和所述下清洁仓各设置有一个可移动的滑动筒壁，所述滑动筒壁可滑入所述工作仓内从而遮盖工作仓的内壁，所述工作仓内设置有主机头用于进行镀膜工作并且能够夹持多个被镀工件同时进行镀膜；所述工作仓的上顶和下底各设置有一圈封圈，所述封圈侧边设置有密封头，所述密封头重启后膨胀从而顶住封圈和滑动筒壁之间的空隙形成密闭的空间；所述上清洁仓和所述下清洁仓内设置有清洁部和烘干部，所述清洁部和所述烘干部对从工作仓退回至上清洁仓或下清洁仓的滑动筒壁进行清洁烘干工作。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于：所述工作仓的上顶和下底边缘设置有限位环，所述限位环配合内壁对所述滑动筒壁的移动起导向限位作用，所述限位环设置有刮面斜块，所述刮面斜块作用于滑动筒壁的内壁用于刮去其上附着的沉积物；所述封圈和所述限位环之间具有间隙，位于工作仓底部的间隙出设置有若干个漏液孔；所述封圈的内壁设置有弧壁，所述弧壁上设置有若干个导向所述漏液孔的弧形洞。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于：所述下清洁仓正中部设置有一根支撑柱，所述支撑柱用于支撑所述工作仓的底部；所述支撑柱设置有四个通管孔。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜机，其特征在于：所述下清洁仓内设置有可活动的移动底板，所述移动底板设置有四个圆周分布的放空孔，所述移动底板固定连接至可下移至下清洁仓内的滑动筒壁的底部，所述下清洁仓内设置有若干根底板升降柱，其中一根底板升降柱设置有螺纹并且和所述移动底板螺纹配合连接，所述底板升降柱顶端穿透所述移动底板顶在所述工作仓的底部，所述下清洁仓的底部设置有第一电机，所述第一电机能够驱使所述底板升降柱正向和反向转动，从而驱使所述移动底板上移和下降。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜机，其特征在于：所述下清洁仓内设置有八根清洁部升降柱，所述清洁部升降柱顶部穿过所述放空孔并顶靠在所述工作仓的底部；所述清洁部升降柱上设置有可上下移动的所述清洁部，所述清洁部设置有喷雾部和位于喷雾部上下两端的喷水部，所述喷雾部设置有若干个朝向所述滑动筒壁的喷雾喷头，所述喷水部设置有若干个朝向所述滑动筒壁的高压水喷头；所述清洁部背部设置有清洁液管接头、高压水管接头和防干扰检测探头，所述清洁液管接头管路连通所述喷雾喷头，所述高压水管接头管路连通所述高压水喷头，所述清洁液管接头和所述高压水管接头螺纹连接清洁液管和高压水管，所述清洁液管和所述高压水管穿过通管孔和外界相连。

6.根据权利要求5所述的真空镀膜机，其特征在于：所述喷水部为弧形的突出部，其外侧壁设置有一道扩孔槽，所述扩孔槽内设置有若干个所述高压水喷头；所述清洁部通过齿轮咬合于所述清洁部升降柱上，并在清洁部内部设置有第二电机，所述第二电机通过齿轮啮合传动驱动清洁部在清洁部升降柱上进行移动工作；所述清洁部设置有电源线，所述电源线穿过所述通管孔和外界相连。

7.根据权利要求4所述的真空镀膜机，其特征在于：所述下清洁仓内设置有四根烘干部升降柱，所述烘干部内部设置有滑动连接部且通过所述滑动连接部安装至所述烘干部升降柱上；所述烘干部设置有朝向所述滑动筒壁的喷气口，所述烘干部内设置有气泵和加热装置，所述烘干部背侧设置有进气过滤口，所述加热装置将所述气泵从进气过滤口吸入的空气进行加热；所述烘干部和所述滑动连接部之间可相对摆动从而调整喷气口的喷气方向，摆动的幅度为正负10度。

8.根据权利要求7所述的真空镀膜机，其特征在于：所述滑动连接部通过齿轮咬合于所述烘干部升降柱上，并在烘干部内部设置有第三电机，所述第三电机通过齿轮啮合传动驱动滑动连接部在烘干部升降柱上进行移动工作；所述烘干部设置有电源线，所述电源线穿过所述通管孔和外界相连。