[发明专利]半导体装置在审

专利信息
申请号: 202010854203.2 申请日: 2020-08-24
公开(公告)号: CN113380871A 公开(公告)日: 2021-09-10
发明(设计)人: 花形祥子 申请(专利权)人: 株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社
主分类号: H01L29/06 分类号: H01L29/06;H01L29/861;H01L29/739
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 刘英华
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 半导体 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体装置,具备:

第1电极;

第1导电型的第1半导体区域,设置于所述第1电极之上,与所述第1电极电连接;

第1导电型的第2半导体区域,设置于所述第1半导体区域之上、并沿着第1面设置于所述第1半导体区域的周围,具有比所述第1半导体区域低的第1导电型的杂质浓度,所述第1面包括与从所述第1电极朝向所述第1半导体区域的第1方向垂直的第2方向、和与所述第1方向及所述第2方向垂直的第3方向;

第1导电型的第3半导体区域,设置于所述第1半导体区域及所述第2半导体区域之上,具有比所述第2半导体区域低的第1导电型的杂质浓度;

第2导电型的第4半导体区域,设置于所述第3半导体区域之上;以及

第2电极,设置于所述第4半导体区域之上,与所述第4半导体区域电连接,

在沿着所述第1方向和第4方向的第1截面中,所述第1半导体区域的第1外缘位于比所述第4半导体区域的第2外缘靠内侧的位置,所述第4方向与所述第1方向垂直且与所述第2方向及所述第3方向交叉,

所述第1截面中的所述第1外缘与所述第2外缘之间的所述第4方向上的第1距离,比沿着所述第1方向及所述第2方向的第2截面中的所述第1外缘与所述第2外缘之间的所述第2方向上的第2距离长。

2.根据权利要求1所述的半导体装置,其中,

所述第1距离与所述第2距离之差为50μm以上且200μm以下。

3.根据权利要求1所述的半导体装置,其中,

在所述第2截面中,所述第1外缘位于比所述第2外缘靠内侧的位置,

所述第1距离为所述第2距离的1.1倍以上且200倍以下。

4.一种半导体装置,具备:

第1电极;

第1导电型的第1半导体区域,设置于所述第1电极之上,与所述第1电极电连接;

第1导电型的第2半导体区域,沿着第1面设置于所述第1半导体区域的周围,具有比所述第1半导体区域低的第1导电型的杂质浓度,所述第1面包括与从所述第1电极朝向所述第1半导体区域的第1方向垂直的第2方向、和与所述第1方向及所述第2方向垂直的第3方向;

第1导电型的第3半导体区域,设置于所述第1半导体区域及所述第2半导体区域之上,具有比所述第2半导体区域低的第1导电型的杂质浓度;

第2导电型的第4半导体区域,设置于所述第3半导体区域之上;以及

第2电极,设置于所述第4半导体区域之上,与所述第4半导体区域电连接,

在沿着所述第1方向及所述第2方向的第2截面中,所述第1半导体区域的第1外缘位于比所述第4半导体区域的第2外缘靠外侧的位置,

沿着所述第1方向和第4方向的第1截面中的所述第1外缘与所述第2外缘之间的所述第4方向上的第1距离,比所述第2截面中的所述第1外缘与所述第2外缘之间的所述第2方向上的第2距离短,所述第4方向与所述第1方向垂直且与所述第2方向及所述第3方向交叉。

5.根据权利要求4所述的半导体装置,其中,

所述第1距离与所述第2距离之差为50μm以上且200μm以下。

6.根据权利要求4所述的半导体装置,其中,

在所述第2截面中,所述第1外缘位于比所述第2外缘靠外侧的位置,

所述第2距离为所述第1距离的1.1倍以上且200倍以下。

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