[发明专利]半导体装置在审
| 申请号: | 202010854203.2 | 申请日: | 2020-08-24 |
| 公开(公告)号: | CN113380871A | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
| 发明(设计)人: | 花形祥子 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社 |
| 主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/861;H01L29/739 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 刘英华 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
1.一种半导体装置,具备:
第1电极;
第1导电型的第1半导体区域,设置于所述第1电极之上,与所述第1电极电连接;
第1导电型的第2半导体区域,设置于所述第1半导体区域之上、并沿着第1面设置于所述第1半导体区域的周围,具有比所述第1半导体区域低的第1导电型的杂质浓度,所述第1面包括与从所述第1电极朝向所述第1半导体区域的第1方向垂直的第2方向、和与所述第1方向及所述第2方向垂直的第3方向;
第1导电型的第3半导体区域,设置于所述第1半导体区域及所述第2半导体区域之上,具有比所述第2半导体区域低的第1导电型的杂质浓度;
第2导电型的第4半导体区域,设置于所述第3半导体区域之上;以及
第2电极,设置于所述第4半导体区域之上,与所述第4半导体区域电连接,
在沿着所述第1方向和第4方向的第1截面中,所述第1半导体区域的第1外缘位于比所述第4半导体区域的第2外缘靠内侧的位置,所述第4方向与所述第1方向垂直且与所述第2方向及所述第3方向交叉,
所述第1截面中的所述第1外缘与所述第2外缘之间的所述第4方向上的第1距离,比沿着所述第1方向及所述第2方向的第2截面中的所述第1外缘与所述第2外缘之间的所述第2方向上的第2距离长。
2.根据权利要求1所述的半导体装置,其中,
所述第1距离与所述第2距离之差为50μm以上且200μm以下。
3.根据权利要求1所述的半导体装置,其中,
在所述第2截面中,所述第1外缘位于比所述第2外缘靠内侧的位置,
所述第1距离为所述第2距离的1.1倍以上且200倍以下。
4.一种半导体装置,具备:
第1电极;
第1导电型的第1半导体区域,设置于所述第1电极之上,与所述第1电极电连接;
第1导电型的第2半导体区域,沿着第1面设置于所述第1半导体区域的周围,具有比所述第1半导体区域低的第1导电型的杂质浓度,所述第1面包括与从所述第1电极朝向所述第1半导体区域的第1方向垂直的第2方向、和与所述第1方向及所述第2方向垂直的第3方向;
第1导电型的第3半导体区域,设置于所述第1半导体区域及所述第2半导体区域之上,具有比所述第2半导体区域低的第1导电型的杂质浓度;
第2导电型的第4半导体区域,设置于所述第3半导体区域之上;以及
第2电极,设置于所述第4半导体区域之上,与所述第4半导体区域电连接,
在沿着所述第1方向及所述第2方向的第2截面中,所述第1半导体区域的第1外缘位于比所述第4半导体区域的第2外缘靠外侧的位置,
沿着所述第1方向和第4方向的第1截面中的所述第1外缘与所述第2外缘之间的所述第4方向上的第1距离,比所述第2截面中的所述第1外缘与所述第2外缘之间的所述第2方向上的第2距离短,所述第4方向与所述第1方向垂直且与所述第2方向及所述第3方向交叉。
5.根据权利要求4所述的半导体装置,其中,
所述第1距离与所述第2距离之差为50μm以上且200μm以下。
6.根据权利要求4所述的半导体装置,其中,
在所述第2截面中,所述第1外缘位于比所述第2外缘靠外侧的位置,
所述第2距离为所述第1距离的1.1倍以上且200倍以下。
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