[发明专利]一种维护效率高的光刻机曝光装置

说明书

本发明涉及一种维护效率高的光刻机曝光装置，包括箱体和密封盖，所述箱体的形状为长方体，所述箱体的底部设有开口，所述箱体的顶部设有检修口，所述密封盖盖设在箱体的顶部且与检修口密封连接，所述箱体内设有曝光机构和除尘机构，所述曝光机构包括转动板、密封组件、两个灯管和两个转动组件，所述密封组件包括固定管、移动管和两个移动单元，所述移动单元包括电磁铁、磁铁板、导杆和第一弹簧，所述转动组件包括转动轴、连接轴承、单向轴承、转动齿轮、齿条、支撑块、第二弹簧、连接杆和推板，该维护效率高的光刻机曝光装置通过曝光机构实现了曝光紫外线的功能，不仅如此，还可以通过除尘机构实现清除灯管上灰尘的功能。

技术领域

本发明涉及芯片生产领域，特别涉及一种维护效率高的光刻机曝光装置。

背景技术

光刻机是生产芯片的核心装备，其采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过曝光装置产生的紫外线印制到硅片上，而曝光装置最核心的部件之一是紫外线灯管。

现有的用于光刻机上的曝光装置在运行过程中，当紫外线灯管损坏后，则需要将光刻机停止运行并对紫外线灯管进行更换，而更换紫外线灯管需要拆卸较多的零件，浪费了大量的时间，降低了芯片生产效率，不仅如此，当紫外线灯管上存在灰尘时，灰尘对紫外线产生遮挡而影响芯片生产质量，降低了实用性。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：为了克服现有技术的不足，提供一种维护效率高的光刻机曝光装置。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种维护效率高的光刻机曝光装置，包括箱体和密封盖，所述箱体的形状为长方体，所述箱体的底部设有开口，所述箱体的顶部设有检修口，所述密封盖盖设在箱体的顶部且与检修口密封连接，所述箱体内设有曝光机构和除尘机构；

所述曝光机构包括转动板、密封组件、两个灯管和两个转动组件，所述转动板水平设置，两个灯管方向设置在转动板的顶部和底部，所述密封组件设置在转动板的顶部，所述转动组件分别设置在转动板的两侧；

所述密封组件包括固定管、移动管和两个移动单元，所述固定管与转动板垂直且与检修口正对设置，所述固定管的顶端与箱体内的顶部密封且固定连接，所述固定管与转动板之间设有间隙，所述移动管与固定管同轴设置，所述固定管的底端插入移动管内，所述固定管与移动管滑动且密封连接，所述移动管的底端与转动板的顶部抵靠且密封连接，所述移动管的顶端与箱体内的顶部之间设有间隙，位于转动板顶部的灯管位于移动管内，所述移动单元与转动组件一一对应且设置在移动管的外壁；

所述移动单元包括电磁铁、磁铁板、导杆和第一弹簧，所述导杆与固定管平行，所述导杆的顶端固定在箱体内的顶部，所述电磁铁固定在导杆的底端，所述磁铁板与导杆垂直，所述磁铁板上设有导孔且固定在移动管上，所述导杆穿过导孔且与导孔的内壁滑动连接，所述磁铁板的顶部通过第一弹簧与箱体内的顶部连接；

所述转动组件包括转动轴、连接轴承、单向轴承、转动齿轮、齿条、支撑块、第二弹簧、连接杆和推板，所述转动轴的轴线与固定管的轴线垂直且相交，两个转动轴同轴设置，所述转动轴的一端固定在转动板上，所述单向轴承的内圈安装在转动轴的另一端，所述连接轴承的内圈安装在转动轴上，所述连接轴承的外圈与箱体的内壁固定连接，所述转动齿轮安装在单向轴承的外圈，所述齿条与转动齿轮啮合，所述连接杆与固定管平行且固定在齿条的顶部，所述推板与连接杆垂直且固定在连接杆的顶端，所述推板与固定管轴线之间的距离小于磁铁板的远离固定管的一侧与固定管轴线之间的距离，所述推板位于磁铁板的上方，所述推板与磁铁板之间的距离小于移动管与箱体内顶部之间的距离，所述支撑块固定在箱体的内壁上，所述支撑块上设有连接孔，所述连接杆穿过连接孔且与连接孔的内壁滑动连接，所述支撑块与齿条之间设有间隙，所述第二弹簧位于支撑块和推板之间，所述推板通过第二弹簧与支撑块连接；

所述除尘机构包括两个除尘组件，所述除尘组件与齿条一一对应且设置在齿条的底部；