[发明专利]用于光声气体传感器的检测器单元和光声气体传感器

权利要求书

1.一种用于光声气体传感器的检测器单元，包括：

第一层结构(12)；

第二层结构(14)，被布置在所述第一层结构处并且包括膜结构(18)；以及

第三层结构(16)，被布置在所述第二层结构(14)处；

其中所述第一层结构(12)和所述第三层结构(16)气密地封闭腔(22)，并且其中所述膜结构(18)被布置在所述腔(22)中。

2.根据权利要求1所述的检测器单元，其中所述第二层结构(16)形成所述检测器单元的侧壁(10A)的至少一部分。

3.根据权利要求1或2所述的检测器单元，其中所述第二层结构(14)对于电磁辐射(54)是透明的。

4.根据前述权利要求中任一项所述的检测器单元，其中所述腔(22)是声隔离的。

5.根据前述权利要求中任一项所述的检测器单元，其中所述第一层结构(12)与所述第二层结构(14)通过晶片级接合而彼此附接以及/或者其中所述第二层结构(14)与所述第三层结构(16)通过晶片级接合而彼此附接。

6.根据前述权利要求中任一项所述的检测器单元，所述检测器单元关于对所述第一层结构(12)与所述第二层结构(14)之间的所述腔(22)的第一子腔(22a)和所述第二层结构(14)与所述第三层结构(16)之间的第二子腔(22b)的电磁辐射(54)的灵敏度不对称。

7.根据前述权利要求中任一项所述的检测器单元，其中用于电磁辐射(54)的反射表面(26)被布置在面向所述膜结构(18)的所述第一层结构(12)的表面处或面向所述膜结构(18)的所述第三层结构(16)的表面处。

8.根据权利要求7所述的检测器单元，其中所述表面包括反射材料和反射结构中的至少一者。

9.根据前述权利要求中任一项所述检测器单元，其中沿着与所述膜结构(18)的主侧的表面法线(N₂)平行的方向(46)的所述第一层结构(12)与所述第二层结构(14)之间的第一子腔(22a)的第一延伸(52₁)和所述第二层结构(14)与所述第三层结构(16)之间第二延伸(52₂)不同。

10.根据前述权利要求中任一项所述的检测器单元，所述检测器单元具有位于所述第一层结构与所述第三层结构之间的目标介质(34)。

11.根据前述权利要求中任一项所述的检测器单元，其中所述第一层结构(12)、所述第二层结构(14)和所述第三层结构(16)中的至少一项对于中波长红外光谱是透明的。

12.根据前述权利要求中任一项所述的检测器单元，其中为了测量所述膜结构(18)的移动，

所述第二层结构(14)包括用于所述膜结构(18)的单背板配置或双背板配置；或者

所述检测器单元包括压电元件或压阻元件。

13.根据前述权利要求中任一项所述的检测器单元，其中所述膜结构包括至少一个通风孔(36)。

14.根据权利要求1至12中任一项所述的检测器单元，其中在所述膜结构(18)的第一侧处的所述腔(22)的第一子腔(22a)和在所述膜结构(18)的第二侧处的所述腔(22)的第二子腔(22b)相对于彼此密封并且包括不同的气体或气体浓度。

15.根据前述权利要求中任一项所述的检测器单元，其中所述腔(22)的一部分由反射涂层密封，以防适于激发所述腔(22)中的流体的光。