[发明专利]一种用于光电探测的复合材料制备方法有效

专利信息
申请号: 202010835436.8 申请日: 2020-08-19
公开(公告)号: CN111916531B 公开(公告)日: 2022-03-15
发明(设计)人: 秦鹏超;付永启;冯双龙 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0352;H01L31/074;H01L31/0232
代理公司: 电子科技大学专利中心 51203 代理人: 邓黎
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 光电 探测 复合材料 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种用于光电探测的复合材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1.将硝酸锌溶解于超纯水中,得到浓度为0.04-0.07mol/l的硝酸锌溶液;

S2.在硝酸锌溶液中加入能够使硝酸锌完全反应的氨水,并磁力搅拌进行反应,得到氢氧化锌混合溶液;

S3.将石墨烯薄膜利用湿法技术转移到硅片基底上,然后置于氢氧化锌混合溶液中,水浴沉积,分离,得到前置样品;

S4.将前置样品预加热0.5h-3h,加热温度为90℃—150℃;然后采用化学气相沉积法,在保护气体氛围下,对前置样品加热,其中加热时间为1-5min,微波功率为700W,得到氧化锌/石墨烯样品;

S5.采用电化学沉积法,将氧化锌/石墨烯样品置于前驱体混合溶液中,在氧化锌/石墨烯样品上沉积硫化铅薄膜;所述前驱体混合溶液为乙酸铅、乙二胺四乙酸二钠、硫化钠的混合溶液;

S6.沉积完成后,获得硫化铅/氧化锌/石墨烯的复合材料。

2.如权利要求1所述的一种用于光电探测的复合材料的制备方法,其特征在于,步骤S5中所述的前驱体混合溶液的制备方法为:在乙酸铅混合溶液中依次倒入乙二胺四乙酸二钠溶液、硫化钠溶液,其中:乙酸铅溶液浓度为20mmol/l,乙二胺四乙酸二钠溶液浓度为10mmol/l,硫化钠溶液浓度为0.15mmol/l;乙酸铅溶液:乙二胺四乙酸二钠溶液:硫化钠溶液的体积比为2:2:1。

3.如权利要求1或2所述的一种用于光电探测的复合材料的制备方法,其特征在于,步骤S5中电化学沉积法选择恒电位沉积,其中沉积电位的选择由线性循环伏安分析来确定,沉积电位选择范围为-0.75v~-0.95v,沉积时间范围为10min-60min。

4.如权利要求3所述的一种用于光电探测的复合材料的制备方法,其特征在于,步骤S4中所述保护气体为氩气。

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