[发明专利]移动体装置及曝光装置

权利要求书

1.一种移动体装置，其具备：

光罩保持体，保持具有既定图案的光罩；

第1驱动部，使所述光罩保持体往第1方向移动；

架台部，设置有所述光罩保持体；以及

第1测量系，包含能够测量所述光罩保持体于所述第1方向的移动范围的标尺及发出测量光束的读头中的一方配置在所述光罩保持体、所述读头及所述标尺中的另一方配置在所述架台部的编码器系统，根据接收所述标尺反射的所述测量光束的所述读头的输出，求出所述架台部与所述光罩保持体在所述第1方向的位置信息；

物体保持体，保持既定物体；

第2驱动部，使所述物体保持体往所述第1方向及与所述第1方向交叉的第2方向移动；

移动体，设置于所述架台部与所述物体保持体之间，且于所述物体保持体往所述第2方向的移动中，相对于所述架台部往所述第2方向相对移动；

第2测量系，求出往所述第1方向移动的所述物体保持体相对于所述架台部的位置信息；以及

第3测量系，测量所述第1测量系与所述第2测量系之间的相对位置；

所述第2测量系透过所述移动体求出所述物体保持体相对于所述架台部的所述第1方向与所述第2方向的位置信息。

2.如权利要求1所述的移动体装置，其中，

所述标尺沿所述第1方向以既定间隔排列设置多个；

所述第1测量系，通过所述光罩保持体往所述第1方向的移动，一边将所述读头移动于所述多个标尺上，一边求出所述位置信息。

3.如权利要求1或2所述的移动体装置，其中，

所述标尺，于所述第2方向，设置在所述光罩的两侧。

4.一种曝光装置，其具备：

权利要求1至3中的任一项所述的移动体装置；以及

图案形成装置，一边将所述物体保持体与所述光罩保持体驱动于所述第1方向，一边使用能量束透过所述光罩保持体于所述物体形成所述图案；

所述第2驱动部，使所述物体保持体相对于所述光罩保持体往所述第2方向相对移动。