[发明专利]基于芯片型线圈的磁通门电流传感器

权利要求书

1.基于芯片型线圈的磁通门电流传感器，其特征在于，包括依次连接的聚磁铁芯、芯片型线圈、积分滤波模块、信号驱动模块、电压采集模块、信号放大模块；

所述芯片型线圈包括相互键合的第一高阻硅片和第二高阻硅片，所述第一高阻硅片和第二高阻硅片的对合面之间具有一内置空腔，所述空腔的外周围绕设置有多个填充有线圈材料的螺线管腔；所述第一高阻硅片和第二高阻硅片的对合后的一端设有空腔口；

所述聚磁铁芯通过空腔口插入所述芯片型线圈的空腔内部。

2.根据权利要求1所述的基于芯片型线圈的磁通门电流传感器，其特征在于，所述芯片型线圈为芯片型三维螺线管线圈。

3.根据权利要求1所述的基于芯片型线圈的磁通门电流传感器，其特征在于，还包括反馈线圈；

所述反馈线圈，用于产生和原边电流磁场相反的磁场，并将产生的磁场反馈至聚磁铁芯。

4.根据权利要求1所述的基于芯片型线圈的磁通门电流传感器，其特征在于，还包括：自激振荡电路模块；

所述自激振荡电路模块，用于检测芯片型线圈的电流值，并对芯片型线圈的方波进行翻转并驱动芯片型线圈。

5.根据权利要求3所述的基于芯片型线圈的磁通门电流传感器，其特征在于，所述积分滤波模块，用于接收芯片型线圈感应被测磁场后输出的电压信号，并进行处理得到对应的电流信号。

6.根据权利要求5所述的基于芯片型线圈的磁通门电流传感器，其特征在于，所述信号驱动模块，用于接收积分滤波模块的电流信号，并根据接收的电流信号驱动反馈线圈。

7.根据权利要求6所述的基于芯片型线圈的磁通门电流传感器，其特征在于，所述信号驱动模块还包括采样电阻。

8.根据权利要求7所述的基于芯片型线圈的磁通门电流传感器，其特征在于，所述电压采集模块，用于采集信号驱动模块的采样电阻的电压信号。

9.根据权利要求8所述的基于芯片型线圈的磁通门电流传感器，其特征在于，所述信号放大模块，用于接收电压采集模块采集的电压信号，并对采集的电压信号进行放大处理，得到和原边电流成预设比例的电压信号。

10.根据权利要求1所述的基于芯片型线圈的磁通门电流传感器，其特征在于，所述聚磁铁芯为软性聚磁铁芯。