[发明专利]部件清洗装置

说明书

本发明提供了一种部件清洗装置，包含承载组件以及清洗槽；所述承载组件包含承载腔及把手，所述把手设于承载腔上，所述承载腔上设有一供部件进出的开口，所述承载腔的腔壁上设置有若干进出液口；所述清洗槽包含槽体、排液管和排液阀门，所述槽体用于盛放酸溶液，所述槽体与所述排液管连通，所述排液阀门设置于所述排液管上。本发明解决作业人员容易被强酸伤害和清洗过程中部件容易掉落的问题。

技术领域

本发明涉及设备清洗技术领域，尤其涉及一种部件清洗装置。

背景技术

目前一些半导体设备的部件需要用酸溶液进行清洗，清洗方式是作业人员带着耐酸手套将需清洗部件放入酸溶液中浸泡后，并将其拿出放在去离子水下进行冲洗。

当耐酸手套破损时，作业人员的皮肤容易被强酸腐蚀；当作业人员将需清洗部件放入盛有酸溶液的容器中，如果部件不慎掉入盛有酸溶液的容器中，则容易导致酸溶液溅起，导致作业人员被飞溅的强酸伤害；当作业人员将部件从强酸中转移至去离子水中时，被浸泡后的部件表面比较湿滑，如果部件不慎掉落，会造成部件损坏，导致成本损失。

发明内容

本发明的目的在于提供一种部件清洗装置，以解决作业人员容易被强酸伤害和清洗过程中部件容易掉落的问题。

为了达到上述目的，本发明提供了一种部件清洗装置，包含承载组件以及清洗槽；

所述承载组件包含承载腔及把手，所述把手设于承载腔上，所述承载腔上设有一供部件进出的开口，所述承载腔的腔壁上设置有若干进出液口；

所述清洗槽包含槽体、排液管和排液阀门，所述槽体用于盛放酸溶液，所述槽体与所述排液管连通，所述排液阀门设置于所述排液管上。

可选的，所述进出液口均匀分布于所述承载腔的腔壁上。

可选的，所述承载腔为方形、圆柱形或圆台形。

可选的，所述承载组件和清洗槽均采用PP材料制成。

可选的，所述槽体的槽口的尺寸大于所述承载腔的尺寸，以使所述承载腔能够进入所述槽体内。

可选的，所述槽体的高度大于所述部件的高度与所述承载腔的壁厚之和。

可选的，所述部件为金属部件，所述酸溶液为氢氟酸溶液。

可选的，所述部件为石英部件或耐腐蚀塑料部件，所述酸溶液为硝酸溶液。

可选的，所述氢氟酸溶液的浓度小于或等于49％，所述硝酸溶液的浓度小于或等于30％。

可选的，还包括：去离子水龙头，与一去离子水供应设备连接，所述去离子水龙头设置于所述槽体上方，用于对所述部件进行冲洗。

在本发明提供的部件清洗装置中，在槽体中盛放酸溶液，将部件通过承载腔的开口放入承载腔中进行浸泡；在承载腔上设有把手，便于作业人员移动承载组件；在承载腔的腔壁上开设有若干个进出液口，把承载组件放入盛放了酸溶液的槽体中时，便于酸溶液快速回流进承载腔中；排液管与槽体连通，排液管上设置有排液阀门，在部件浸泡完毕后，打开排液阀门将酸溶液排出，等待些许时间等酸液排出完毕后，即可进行去离子水冲洗，冲洗完毕后等待些许时间，即可取出清洗干净的部件。整个工作过程中，作业人员与酸溶液之间无任何接触，确保了作业人员的人身安全，并且无需人手移动部件进行去离子水冲洗，避免部件冲洗时掉落损坏的风险。

附图说明

图1为本发明一实施例提供的承载组件与清洗槽分离的结构示意图；

图2为本发明一实施例提供的承载组件浸入清洗槽的结构示意图；

附图中：11-承载腔；12-把手；13-开口；14-进出液口；15-部件；16-槽体；17-排液管；18-排液阀门。