[发明专利]玻璃预制件的制造方法

权利要求书

1.一种玻璃预制件(128)的制造方法，其特征在于，该方法包括：

使用前体材料在燃烧室(106)中产生烟尘颗粒(116)，其中，通过在多个燃烧器(104)的促进下加热前体材料来产生烟尘颗粒(116)，其中，前体材料的加热产生烟尘颗粒(116)以及一个或多个杂质；

所述烟尘颗粒(116)的团聚，其中所述团聚是使用多个凝聚器管(110)进行的，其中所述烟尘颗粒(116)基于所述多个凝聚器管(110)的尺寸聚集；

从一个或多个杂质中分离所述烟尘颗粒(116)，其中所述烟尘颗粒(116)在旋风分离器(112)中进行分离；

烟尘颗粒(116)的收集，其中所述烟尘颗粒(116)的收集在烟尘收集室(118)中进行；并且

烟灰颗粒(116)的压实，其中，烟灰颗粒(116)在预制件压实室(120)的促进下被压实，其中，在烧结之后压实烟尘颗粒(116)导致玻璃预制件(128)的形成。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，其中燃烧室(106)包括多个燃烧器(104)和入口(102)，其中燃烧室(106)充满吹扫气体，其中入口(102)用于释放燃烧室(106)中的吹扫气体。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，其中燃烧室(106)由哈氏合金材料制成。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，其中，如果前体材料为四氯化硅(SiCl4)，则含有HCl和水蒸气的一种或多种杂质。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，其中所述前体材料为四氯化硅(SiCl4)或八甲基环四硅氧烷(OMCTS或D4)中的至少一种。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，其中所述多个凝聚器管(110)被冷却层(108)包围，其中所述冷却层(108)有助于多个凝聚器管(110)内的烟尘颗粒(116)的冷却。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，其中旋风分离器(112)有助于从一种或多种杂质中分离烟尘颗粒(116)。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，其中所述烟尘颗粒(116)的压实使用单轴压实工艺、冷等静压压实工艺和热等静压压实工艺中的至少一种进行。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，其中所述烟灰颗粒(116)的压实是在脱水气体的持续促进下进行的，其中所述脱水气体是氯中的至少一种，其中所述脱水气体从烟灰预制体(124)中去除OH离子浓度。

10.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述压实烟灰预制件(124)在预制件压实室(120)中烧结形成玻璃预制件(128)，其中所述玻璃预制件(128)具有高效性。

11.如权利要求1所述的方法，其特征在于，其中所述脱水在受控常压炉(130)中进行，脱水气体持续促进脱水气体，其中所述脱水气体是氯中的至少一种，其中所述脱水气体从烟灰预制件(124)中去除OH离子浓度。

12.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述压实的烟灰预制体(124)在受控常压炉(130)中烧结形成所述玻璃预制体(128)，其中所述玻璃预制体(128)具有高效性。