[发明专利]一种光热反射测温方法及装置

说明书

本发明适用于微电子测温技术领域，提供了一种光热反射测温方法及装置，所述方法包括：控制被测件处于预设初始温度，采集被测件此时的反射率，得到第一反射率；控制被测件的温度升高ΔT₀，在被测件温度改变的同时向被测件通入电流，温度稳定后采集通电被测件的反射率，得到第二反射率；控制通电被测件的温度降低ΔT₀，温度稳定后采集通电被测件的反射率，得到第三反射率；基于第一反射率、第二反射率和第三反射率确定被测件的温度变化量。本发明能够一次性测量被测件的温度变化量，节省电流周期性变化时等待被测件温度稳定所需的时间，提高测量效率。

技术领域

本发明属于微电子测温技术领域，尤其涉及一种光热反射测温方法及装置。

背景技术

光热反射测温技术因具有空间分辨率高、能够有效分析微小结构的热分布情况等优势，被广泛应用于光电子器件、微电子器件以及MEMS器件的热分布检测中。

光热反射测温技术的原理是首先测量被测件不加电时的热反射率校准系数，再对被测件施加周期性电信号测量温度变化量。然而，在对温度变化量的测量过程中，为了使被测件温度达到稳态，在对被测件施加周期性电信号以后往往需要等待较长时间，导致光热反射测温耗时长、效率低。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种光热反射测温方法及装置，以解决现有技术光热反射测温耗时长、效率低的问题。

本发明实施例的第一方面提供了一种光热反射测温方法，包括：

控制被测件处于预设初始温度，采集被测件此时的反射率，得到第一反射率；

控制被测件的温度升高ΔT₀，在被测件温度改变的同时向被测件通入电流，温度稳定后采集通电被测件的反射率，得到第二反射率；

控制通电被测件的温度降低ΔT₀，温度稳定后采集通电被测件的反射率，得到第三反射率；

基于第一反射率、第二反射率和第三反射率确定被测件的温度变化量。

可选的，采集被测件此时的反射率，得到第一反射率，包括：

以预设频率采集N次被测件的反射率；

计算采集的N个反射率的平均值，得到第一反射率。

可选的，基于第一反射率、第二反射率和第三反射率确定被测件的温度变化量，包括：

基于第二反射率和第三反射率确定被测件的热反射率校准系数；

根据第一反射率、第三反射率以及热反射率校准系数确定被测件的温度变化量。

可选的，基于第二反射率和第三反射率确定被测件的热反射率校准系数，包括：

其中，C_TR为热反射率校准系数，C_H为第二反射率，C_L为第三反射率。

可选的，根据第一反射率、第三反射率以及热反射率校准系数确定被测件的温度变化量，包括：

其中，ΔT为被测件的温度变化量，C₀为第一反射率，C_L为第三反射率，C_TR为热反射率校准系数。

本发明实施例的第二方面提供了一种光热反射测温装置，包括：

第一控制/采集模块，用于控制被测件处于预设初始温度，采集被测件此时的反射率，得到第一反射率；