[发明专利]一种用于石英棒开槽的设备及其使用方法

说明书

本发明公开了石英棒开槽技术领域的一种用于石英棒开槽的设备及其使用方法，包括有工作台，所述工作台底端左右对称设置有支腿，所述支腿上安装有滚轮，所述工作台顶端左右对称设置有竖梁，两侧所述竖梁顶端安装有横梁，左侧所述竖梁上安装有控制柜，所述工作台顶面中部设置有第一推杆，所述第一推杆的顶部活动端安装有承托架，本发明能够对石英棒材上不同角度位置进行开槽，无需进行多次夹持，省工省力，通过设置的除尘机构，能够及时吸收净化开槽过程中产生的粉尘，有利于保护工作环境的健康卫生，同时本方案中左右夹持机构可以独立松脱移动，因而使得装置对石英棒材的端部开槽更加方便。

技术领域

本发明涉及石英棒开槽技术领域，具体为一种用于石英棒开槽的设备及其使用方法。

背景技术

众所周知，石英棒是用二氧化硅制造的特种工业技术玻璃，是一种非常优良的基础材料（硅含量9999）。石英玻璃具有一系列优良的物理、化学性能，如：耐高温。石英玻璃的软化点温度约1730℃，可在1100℃下长时间使用，短时间最高使用温度可达1450℃，耐腐蚀。除氢氟酸外，石英玻璃几乎不与其他酸类物质发生化学反应，其耐酸能力是陶瓷的30倍，不锈钢的140倍，尤其是在高温下的化学稳定性，是其他任何工程材料都无法比拟的，热稳定性好。石英玻璃的热膨胀系数极小，能承受剧烈的温度变化，将石英棒加热至1100℃左右，放入常温水中也不会炸裂，透光性能好。目前在半导体产品制造行业，石英舟作为晶片承载器被广泛应用于半导体氧化扩散工序中，槽棒的槽内可插入多片晶片进行扩散加工，其形状结构、开槽精度、槽间距离等对半导体硅质量有较大影响。因此，石英舟在加工时，对石英槽棒的开槽无疑是最关键的一步。对石英长舟而言，石英槽棒的长度较长，开槽加工时如何将石英槽棒定位固定是个难点，这也将直接影响到石英槽棒开槽后的质量与精度。

现有开槽设备一般是通过轮盘锯对石英棒材进行开槽，开槽时需要对石英棒材的进行固定夹持，现有设备夹持过程复杂，往往一根石英棒上需要制作多组槽缝，现有技术需要经常进行棒材的夹紧定位，使用不便，费工费力，且现有设备一般是对棒材两端部进行夹持，而现有石英棒材上开槽，其槽缝经常需要贯穿棒材两端，因而现有技术中，夹持机构会对开槽造成阻碍，造成不便。

基于此，本发明设计了一种用于石英棒开槽的设备及其使用方法，以解决上述出现的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于石英棒开槽的设备及其使用方法，以解决上述背景技术中的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于石英棒开槽的设备，包括有工作台，所述工作台底端左右对称设置有支腿，所述支腿上安装有滚轮，所述工作台顶端左右对称设置有竖梁，两侧所述竖梁顶端安装有横梁，左侧所述竖梁上安装有控制柜，所述工作台顶面中部设置有第一推杆，所述第一推杆的顶部活动端安装有承托架，所述第一推杆的左右两侧对应设置有夹持机构，两组夹持机构之间安装有石英棒材，两侧所述竖梁之间转动设置有第一丝杆，所述第一丝杆位于石英棒材的上方，所述第一丝杆的右端连接有第一电机，所述第一丝杆的上侧平行设置有限位光杆，所述第一丝杆上贯穿螺接有第一滑块，且限位光杆活动贯穿第一滑块，所述第一滑块的底端固接有安装板，所述安装板的底端设置有第二推杆，所述第二推杆的底端设置有切割机。

优选的，所述安装板的底端左侧设置有吸尘嘴，所述吸尘嘴的进尘口朝向切割机设置，所述横梁顶端设置有吸尘净化设备，所述吸尘净化设备通过软质管道连接吸尘嘴，所述吸尘净化设备包含抽气泵以及粉尘净化箱。

优选的，所述承托架包括有V面块体，所述V面块体的V面上开设有凹槽，所述凹槽内转动设置有辊柱，所述辊柱上部高于凹槽顶面。

优选的，所述夹持机构包括左右两组丝杆座，所述丝杆座固定设在工作台上，两组丝杆座之间转动设有第二丝杆，所述第二丝杆右端设置有第二电机，所述第二丝杆下侧的台面上设有滑轨，所述第二丝杆上贯穿螺接有第二滑块，所述第二滑块底端滑动设置在滑轨上，所述第二滑块顶端设置有竖板，所述竖板右侧设置有第三电机，所述第三电机的输出轴端贯穿竖板左面连接有夹持板。