[发明专利]成膜系统、成膜系统的异常部位判别方法及计算机可读取的存储介质

权利要求书

1.一种成膜系统，其具有用于隔着掩模对基板进行成膜的成膜装置和用于向所述成膜装置搬送基板或掩模的搬送装置，其特征在于，

该成膜系统包括：

存储部件，用于存储与所述成膜装置的动作以及所述搬送装置的动作中的至少一个相关联的至少一个动作参数；以及

判别部件，基于存储在所述存储部件中的所述至少一个动作参数，判别所述搬送装置和/或所述成膜装置的异常部位，

所述成膜装置包括真空容器和设置在所述真空容器内且用于保持基板的基板保持部件，

所述至少一个动作参数包括基板初始位置偏离量，该基板初始位置偏离量表示由所述搬送装置搬入到所述成膜装置的所述真空容器内的基板载置于所述基板保持部件的时刻的初始位置偏离目标位置的程度，

所述成膜装置包括：第1拍摄部件，用于对支承于所述基板保持部件的基板的第1位置进行拍摄；第2拍摄部件，用于对支承于所述基板保持部件的基板的第2位置进行拍摄；以及载置台，设置于所述真空容器的大气侧，与基板保持部件连结，

将由所述第1拍摄部件测定出的基板初始位置偏离量和根据使用了所述第2拍摄部件的基板对准工序完成后的所述载置台的最终位置换算出的基板初始位置偏离量作为第1动作参数以及第2动作参数，存储在所述存储部件，

对比基于所述第1动作参数而制作的初始位置偏离量曲线图和基于所述第2动作参数而制作的初始位置偏离量曲线图，算出其关联度，

作为关联度的算出结果，在判定为两个曲线图关联的情况下，所述判别部件判别为，不是所述成膜装置存在问题，而是所述搬送装置存在问题，在判定为两个曲线图没有关联的情况下，所述判别部件判别为，在成膜装置存在异常。

2.根据权利要求1所述的成膜系统，其特征在于，

所述基板初始位置偏离量是基板的中心的初始位置偏离量。

3.一种成膜系统，其具有用于隔着掩模对基板进行成膜的成膜装置和用于向所述成膜装置搬送基板或掩模的搬送装置，其特征在于，

该成膜系统包括：

存储部件，用于存储与所述成膜装置的动作以及所述搬送装置的动作中的至少一个相关联的至少一个动作参数；以及

判别部件，基于存储在所述存储部件中的所述至少一个动作参数，判别所述搬送装置和/或所述成膜装置的异常部位，

所述至少一个动作参数包括调整基板相对于掩模的相对位置的相对位置调整的动作后的所述基板的位置，

所述判别部件基于随着多次进行所述相对位置调整的动作，所述基板的位置收敛于目标位置的程度，判别所述成膜装置的异常部位，

若判定为收敛，则判别为所述成膜装置的基板保持部件、平衡缸、冷却板/磁铁板没有异常，

若判定为不收敛，则判定在第几次的相对位置调整的动作后每个基板的偏差变大，

如果在成膜前测量时每个基板的偏差变大，则判定为冷却板或磁铁板存在问题，

不仅在成膜前测量时，而且在其之前的相对位置调整的动作中，在基板的位置的每个基板的偏差大的情况下，判定每个基板的偏差大的方向是X方向还是Y方向，

在Y方向上的偏差较大的情况下，判定为基板保持部件的支承件的高度存在偏差，在X方向上的偏差较大的情况下，判定为基板保持部件的加压件、平衡缸存在问题。

4.一种成膜系统，其具有用于隔着掩模对基板进行成膜的成膜装置和用于向所述成膜装置搬送基板或掩模的搬送装置，其特征在于，

该成膜系统包括：

存储部件，用于存储与所述成膜装置的动作以及所述搬送装置的动作中的至少一个相关联的至少一个动作参数；以及

判别部件，基于存储在所述存储部件中的所述至少一个动作参数，判别所述搬送装置和/或所述成膜装置的异常部位，

所述至少一个动作参数包括形成于掩模的对准标记间的距离与基准值之差，

将在第2对准期间，由第2拍摄部件测量出的、掩模的对角上的第2掩模对准标记间的实测距离与基准值之差作为动作参数存储于所述存储部件，

在每当进行第2对准中的基板与掩模的相对位置测量时，在对角上的第2掩模对准标记间的实测距离与基准值之差产生偏差的情况下，判别为所述第2拍摄部件存在异常。