[发明专利]一种三氯化铁的不锈钢蚀刻液循环再生系统及其方法在审
申请号: | 202010779001.6 | 申请日: | 2020-08-05 |
公开(公告)号: | CN111733444A | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 徐麟;杨代军;黄勇 | 申请(专利权)人: | 上海毅蓝电子科技有限公司 |
主分类号: | C25F7/02 | 分类号: | C25F7/02 |
代理公司: | 上海新隆知识产权代理事务所(普通合伙) 31366 | 代理人: | 金利琴 |
地址: | 201821 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氯化铁 不锈钢 蚀刻 循环 再生 系统 及其 方法 | ||
1.一种三氯化铁的不锈钢蚀刻液循环再生系统,其特征在于,包括依次连接的蚀刻机、结晶池、板框过滤机和电解槽,一盐酸补加桶、一水补加桶和一三氯化铁补加桶分别连通到所述蚀刻机,一再生池一端与所述三氯化铁补加桶连通,另一端与所述电解槽连通。
2.根据权利要求1所述的一种三氯化铁的不锈钢蚀刻液循环再生系统,其特征在于,还包括一三氯化铁在线检测及自动加药系统,其与所述蚀刻机连接。
3.根据权利要求2所述的一种三氯化铁的不锈钢蚀刻液循环再生系统,其特征在于,所述电解槽内设有三氯化铁蚀刻液成分检测控制系统、液位控制系统,H2和氯气浓度监控报警系统,安全负压防爆抽风系统和板框自动过滤系统。
4.根据权利要求2或3所述的一种三氯化铁的不锈钢蚀刻液循环再生系统,其特征在于,所述电解槽和一酸度检测控制系统连接,其极板由阳极、阴极和辅助催化阴极三电极结构组成。
5.根据权利要求4所述的一种三氯化铁的不锈钢蚀刻液循环再生系统,其特征在于,所述阳极、阴极和辅助催化阴极为经表面催化3D涂层处理的钛或石墨不溶性材料,表面催化3D涂层为Pt、Au、PbO2、Ru、W或Ir铂系金属的一种或多种复合涂层,该涂层中包含全氟磺酸树脂和全氟羧酸树脂中的一种或者两种复合成分。
6.根据权利要求5所述的一种三氯化铁的不锈钢蚀刻液循环再生系统实现的方法,其特征在于,在所述电解槽内的三氯化铁蚀刻废液在电解槽阳极附近将Fe2+氧化成Fe3+,并通过所述辅助催化阴极选择性催化还原实现电解槽阴极附近H+变为氢气析出。
7.根据权利要求6所述的一种三氯化铁的不锈钢蚀刻液循环再生系统实现的方法,其特征在于,所述三氯化铁蚀刻废液依次经蚀刻机—结晶池—板框过滤机—电解槽—再生池—蚀刻机处理。
8.根据权利要求7所述的一种三氯化铁的不锈钢蚀刻液循环再生系统实现的方法,其特征在于,具体包括以下步骤:经所述蚀刻机流出的三氯化铁蚀刻废液进入结晶池,经0-15℃静置结晶沉降24h后,富含氯化镍和氯化铬的沉渣定期从倒锥形底阀排除,上清液经所述板框过滤机过滤后进电解槽原位催化电解再生得到再生液,所述再生池内的再生液根据所述蚀刻机内蚀刻液ORP氧化还原电位的变化自动加入蚀刻机,完成三氯化铁蚀刻液的一次循环利用。
9.根据权利要求8所述的一种三氯化铁的不锈钢蚀刻液循环再生系统实现的方法,其特征在于,所述电解槽和酸度检测控制系统连接,根据电解槽内蚀刻废液的酸度变化,自动补加盐酸;与所述电解槽连接的电解整流机的电流电压随着电解槽内三氯化铁蚀刻废液的ORP的升高而降低。
10.根据权利要求9所述的一种三氯化铁的不锈钢蚀刻液循环再生系统实现的方法,其特征在于,所述蚀刻机与三氯化铁在线检测及自动加药系统连接,该系统实时在线检测三氯化铁蚀刻液的酸度在0.3-2mol/L内、比重在38-42波美度内和ORP在550-650mv内,随着所述酸度的实时挥发降低自动补加盐酸,所述比重升高自动加水,所述ORP降低自动补加三氯化铁蚀刻再生液。
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