[发明专利]一种多孔硅拼装式微腔生物传感器的应用方法

权利要求书

1.一种多孔硅拼装式微腔生物传感器的应用方法，其特征在于：包括上部分布拉格反射镜、微腔层及下部分布拉格反射镜，上部分布拉格反射镜为基于石英玻璃的布拉格器件，微腔层及下部分布拉格反射镜为多孔硅制备，上部分布拉格反射镜、微腔层及下部分布拉格反射镜是分离的，并由固定的夹具将上部分布拉格反射镜和微腔层及下部分布拉格反射镜部分拼装起来；

其应用方法的具体步骤如下：

S1、通过阳极电化学腐蚀法腐蚀第一层为微腔层，下面为下部分布拉格反射镜的多孔硅器件；

S2、将步骤S1腐蚀好的多孔硅器件进行功能化，用于偶联生物；

S3、将步骤S2功能化后的多孔硅器件偶联上探针DNA，之后再将目标DNA滴加在多孔硅器件一半的区域，另一半用做对照，以减小拼装后空气缝对生物检测的影响；

S4、通过溅射镀膜方式，制备基于石英玻璃的布拉格器件，高低折射率层分别由Al₂O₃和MgF₂组成，折射率分别为1.58和1.37，厚度分别为100.16nm和115.51nm；

S5、将步骤S3中制作好的多孔硅器件与基于石英玻璃的布拉格器件用固定的夹具拼装在一起，形成多孔硅拼装式微腔生物传感器；

S6、使用角度谱法测量可拼装的多孔硅拼装式微腔生物传感器的反射光强，由于生物分子进入多孔硅器件以后，每层的折射率均有增加，缺陷态中心波长增大，生物检测前，调节入射角至θ1，此时缺陷态波长与入射波波长相同，光强达到最小值，多孔硅器件的微腔层中发生生物反应时折射率增加，再次调节入射光至θ2，使光强再次达到最小值，根据角度变化情况Δθ＝θ2-θ1可以得到所添加生物浓度的变化情况。