[发明专利]一种精准推进探针的方法

权利要求书

1.一种精准推进探针的方法，其特征在于，

利用超出探针头一定距离D的感应端监测探针头与薄膜之间的距离，感应端位于感应收缩簧的一端，感应收缩簧的另一端与导电探针体固定，且感应端超出探针头一定距离D；

当检测到的距离小于预设距离D时，探针提升使探针头远离薄膜，随着探针推进，当等于预设距离时，探针以第二速度V2推进，使探针头接近薄膜，推进时间为T＝D/V2；

当等于预设距离D时，探针以第二速度V2推进，使探针头接近薄膜表面，推进时间为T＝D/V2；

当大于预设距离D时，探针控制器控制探针以第一速度V1推进；随着探针推进，当等于预设距离时，探针以第二速度V2推进，推进时间为T＝D/V2，V2＜V1；探针以第二速度推进时，感应收缩簧的主动收缩速度和探针的推进速度同步变化，速度大小一致；

所述感应收缩簧为弹簧形状，导电针体和弹性针头设置于感应收缩簧内，以保证探针无论以何种角度向薄膜靠近时感应收缩簧末端的感应端优先接触到薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种精准推进探针的方法，其特征在于，

利用超出探针头一定距离D的感应端监测探针头与薄膜之间的距离，感应端位于感应收缩簧的一端，感应收缩簧的另一端与导电探针体固定，感应端且超出探针头一定距离D；

当小于预设距离D时，感应端接触到薄膜，若感应端检测到的应力达到或超出预设应力阈值时，确定薄膜已被破坏；若感应端检测到的阈值未达到预设应力阈值时，薄膜未被破坏；

若被破坏，更新测试样品；

若未被破坏，探针提升使探针头远离薄膜，随着探针推进，当等于预设距离时，探针以第二速度V2推进，使探针头接近薄膜推进时间为T＝D/V2；

当等于预设距离D时，探针以第二速度V2推进，使探针头接近薄膜表面，推进时间为T＝D/V2；

当大于预设距离D时，探针控制器控制探针以第一速度V1推进；随着探针推进，当等于预设距离时，探针以第二速度V2推进，推进时间为T＝D/V2，V2＜V1。

3.根据权利要求2所述的一种精准推进探针的方法，其特征在于，

利用超出探针头一定距离D的感应端监测探针头与薄膜之间的距离，感应端位于感应收缩簧的一端，感应收缩簧的另一端与导电探针体固定，感应端且超出探针头一定距离D；

当小于预设距离D时，感应端接触到薄膜，若感应端检测到的应力达到或超出预设应力阈值时，确定薄膜已被破坏；若感应端检测到的阈值未达到预设应力阈值时，薄膜未被破坏；

若被破坏，更新测试样品；

若未被破坏，探针提升使探针头远离薄膜；随着探针推进，当等于预设距离时，探针以第二速度V2推进，使探针头接近薄膜推进时间为T＝D/V2；

当等于预设距离D时，探针以第二速度V2推进，使探针头接近薄膜表面，推进时间为T＝D/V2；

当大于预设距离D时，探针控制器控制探针以第一速度V1推进；随着探针推进，当等于预设距离时，探针以第二速度V2推进，推进时间为T＝D/V2，V2＜V1；

探针以第二速度V2推进过程中，感应收缩簧不主动收缩，仅被动收缩，在达到推进时间T时，结束推进，并记录感应端的检测值，选择检测值相同的测试点进行对比，避免探针应力不同对测试结果造成影响。

4.根据权利要求1-3任一所述的一种精准推进探针的方法，其特征在于，

感应收缩簧的一端与导电探针体固定，另一端为感应端，且超出探针头一定距离D，感应收缩簧不仅能够被动收缩，还具有主动收缩功能，能够在控制器的控制下主动收缩；感应端还包含应力传感器，用于测试感应端与薄膜的接触应力。

5.根据权利要求4所述的一种精准推进探针的方法，其特征在于，感应收缩簧为上大下小的弹簧形状，使感应端的截面积相对较小，满足小面积薄膜电极点的测量要求。

6.根据权利要求5所述的一种精准推进探针的方法，其特征在于，感应收缩簧的感应端截面为圆环，以减少对薄膜的接触损伤。

7.根据权利要求6所述的一种精准推进探针的方法，其特征在于，感应收缩簧的感应端被柔 性材料包裹。