[发明专利]一种检测系统及检测方法

权利要求书

1.一种检测系统，其特征在于，包括：

检测装置，用于检测待测对象的第一表面或第二表面，所述检测装置的光轴与所述待测对象的第一表面或第二表面垂直；

置于检测腔中的承载装置，用于承载所述待测对象的第一表面或者用于承载所述待测对象的边缘区域；

转运装置，用于将所述待测对象移至所述承载装置或者从所述承载装置移走，配置为使所述待测对象的第一表面或第二表面处于待测状态。

2.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述承载装置包括：

真空吸附面和支撑面，所述真空吸附面用于吸附所述待测对象的第一表面，所述支撑面用于承载所述待测对象的边缘区域；

多个支撑组件，所述多个支撑组件用于带动所述待测对象至所述真空吸附面所在平面或者至所述支撑面所在平面。

3.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述转运装置包括机械手和翻转机构，所述机械手用于抓取或释放待测对象，所述翻转机构用于翻转所述待测对象。

4.根据权利要求3所述的检测系统，其特征在于，所述翻转机构配置为：位于所述检测腔的旁侧，或者集成于所述机械手。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的检测系统，其特征在于，所述检测腔中设置有运动台，所述承载装置设置在所述运动台上，以带动所述承载装置位移，所述承载装置的位移轨迹由在水平面内的横向位移、纵向位移和/或绕回转中心旋转动作复合形成。

6.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述检测装置包括缺陷检测模块和自动聚焦模块；所述缺陷检测模块包括光源、镜头和相机，所述缺陷检测模块的光轴垂直于所述待测对象的表面，所述自动聚焦模块用于获取所述缺陷检测模块与所述待测对象的表面之间的距离，并使所述缺陷检测模块的焦点位于所述待测对象的表面。

7.根据权利要求2所述的检测系统，其特征在于，所述多个支撑组件包括：定位块和/或承载块，所述定位块配置为沿垂直于所述真空吸附面的方向移动，所述定位块包括第一承托面和位于所述第一承托面上方的定位部，所述定位部可形成对待测器件在水平面内位置的限制；所述承载块配置为沿垂直所述真空吸附面的方向移动，所述承载块包括第二承托面。

8.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述承载装置还包括夹持组件，所述夹持组件包括夹持部和夹持驱动部：所述夹持部配置为与所述待测对象的边缘径向相抵；

所述夹持驱动部用于驱动所述夹持部沿所述真空吸附面径向移动，提供所述夹持部的夹紧驱动力，并配置为：在所述夹紧驱动力的作用下，所述夹持部与所述定位部构建形成的所述夹紧力至待测对象。

9.根据权利要求8所述的检测系统，其特征在于，所述夹持驱动部为夹持气缸，所述夹持气缸的输出端与所述夹持组件的本体传动连接；所述夹持部设置为两个，相对于与两者枢接中心连线垂直的对称中心线，两个所述夹持部镜像设置并分别枢接于所述夹持组件的本体，且可绕枢接中心在夹紧工作位和松开工作位之间切换，并配置为：位于所述夹紧工作位的所述夹持部，与所述定位部构建形成的所述夹紧力至待测对象；位于所述松开工作位的所述夹持部，脱离待测对象；

其中，每个所述夹持部均具有自本体向外折弯形成的夹持端，且与待侧器件外周适配的端部为外凸弧面；在两个所述夹持部之间设置有弹性件，并配置为：两个所述夹持部切换至夹紧工作位的过程中，所述弹性件形变并储备弹性变形能。

10.根据权利要求2所述的检测系统，其特征在于，还包括升降部件，所述升降部件包括：

升降台，所述多个支撑组件均设置在所述升降台上，并由所述升降台沿垂直于所述真空吸附面的方向运动；

升降驱动部，可提供所述升降台的升降驱动力。