[发明专利]一种直线电机及三自由度平面运动台

权利要求书

1.一种直线电机，包括线圈和磁铁，其特征在于：所述线圈和磁铁之间按一定的偏置距离（D）进行偏置定位，使所述直线电机的动子可相对于所述直线电机的定子在与所述直线电机驱动方向的垂直方向运动。

2.一种三自由度平面运动台，其特征在于：包括如权利要求1所述的直线电机。

3.根据权利要求2所述的一种三自由度平面运动台，其特征在于：包括可相对移动的平台定子（1）和平台动子（2），所述平台定子（1）上布置有若干所述直线电机，所述直线电机的磁铁部分固定在所述平台定子（1）上，所述直线电机的线圈部分固定在所述平台动子（2）上。

4.根据权利要求2所述的一种三自由度平面运动台，其特征在于：包括可相对移动的平台定子（1）和平台动子（2），所述平台定子（1）上布置有若干所述直线电机，所述直线电机的线圈部分固定在所述平台定子（1）上，所述直线电机的磁铁部分固定在所述平台动子（2）上。

5.根据权利要求3或4所述的一种三自由度平面运动台，其特征在于：所述的若干直线电机包括三个，分别为第一直线电机（301）、第二直线电机（302）和第三直线电机（303），所述第一、第二直线电机（301，302）相对布置在所述平台动子（2）的两侧，且设置在所述平台动子（2）的X方向上，用于驱动所述平台动子（2）在Y方向直线移动；所述第三直线电机（303）设置在所述平台动子（2）的Y方向上，用于驱动所述平台动子（2）在X方向直线移动；所述第一、第二直线电机（301，302）一同驱动所述平台动子（2）在RZ方向旋转。

6.根据权利要求3或4所述的一种三自由度平面运动台，其特征在于：所述的若干直线电机包括三个，分别为第一直线电机（301）、第二直线电机（302）和第三直线电机（303），所述第一、第二、第三直线电机（301，302，303）均匀布置在所述平台动子（2）的外侧，所述第三直线电机（303）位于所述平台动子（2）的Y方向上，用于驱动所述平台动子（2）在X方向直线移动，所述第一、第二直线电机（301，302）共同作用下驱动所述平台动子（2）在Y方向直线移动，所述第一、第二、第三直线电机（301，302，303）一同驱动所述平台动子（2）在RZ方向旋转。

7.根据权利要求3或4所述的一种三自由度平面运动台，其特征在于：所述的若干直线电机包括第一、第二、第三和第四直线电机（301，302，303，304），所述第一、第二直线电机（301，302）相对布置在所述平台动子（2）的两侧，且设置在所述平台动子（2）的X方向上，用于驱动所述平台动子（2）在Y方向直线移动；所述第三、第四直线电机（303，304）相对布置在所述平台动子（2）的另外两侧，且设置在所述平台动子（2）的Y方向上，用于驱动所述平台定子（1）在X方向直线移动；所述第一、第二直线电机（301，302）或所述第三、第四直线电机（303，304）一同驱动所述平台动子（2）在RZ方向旋转。

8.根据权利要求3或4所述的一种三自由度平面运动台，其特征在于：所述平台定子（1）和所述平台动子（2）之间设置有空气轴承（4）。

9.根据权利要求8所述的一种三自由度平面运动台，其特征在于：所述空气轴承（4）布置有四个，分别支撑在所述平台动子（2）的四周。