[发明专利]一种超薄均热板超亲水微纳米结构吸液芯及制备方法

权利要求书

1.一种超薄均热板超亲水微纳米结构吸液芯，其特征在于，包括吸液芯(1)和均热板盖板，所述吸液芯直接制备于所述均热板盖板上；

所述吸液芯(1)由周期分布的微米列阵以及其四周通道(11)构成；所述微米列阵表面以及其四周所述通道(11)表面均密集分布有纳米级亚结构(12)，三者构成含有丰富微空腔的微纳米全覆盖结构；所述微纳米全覆盖结构的表面设有高表面能氧化物涂层。

2.根据权利要求1所述的一种超薄均热板超亲水微纳米结构吸液芯，其特征在于，所述微米列阵为多个微米锥(13)构成的列阵；且每个所述微米锥(13)的间距为1-300微米；每个所述微米锥(13)的直径为1-200微米；每个所述微米锥(13)的斜度为5-45°；每个所述微米锥(13)的高度为所述均热板盖板厚度的10-70％；

或，所述微米列阵为多个微米长方块(14)构成的列阵；且每个所述微米长方块(14)的间距为10-500微米；每个所述微米长方块(14)的长宽比为1：1-1：10；每个所述微米长方块(14)的四周斜度为5-45°；每个所述微米长方块(14)的高度为所述均热板盖板厚度的10-70％。

3.根据权利要求1所述的一种超薄均热板超亲水微纳米结构吸液芯，其特征在于，所述纳米级亚结构(12)的尺度为1-1000纳米；且所述纳米级亚结构(12)为波纹状或颗粒状。

4.根据权利要求1所述的一种超薄均热板超亲水微纳米结构吸液芯，其特征在于，所述氧化物涂层的厚度小于5纳米；且所述氧化物涂层的材质为SiO2和/或TiO2。

5.根据权利要求1所述的一种超薄均热板超亲水微纳米结构吸液芯，其特征在于，所述吸液芯(1)可以为正方形、长方形、十字形、T字形、L形、工字形、三角形、条形、圆形和辐射形的一种或多种组合的形状。

6.根据权利要求1所述的一种超薄均热板超亲水微纳米结构吸液芯，其特征在于，所述均热板盖板的材质为紫铜、铜合金、铝、铝合金和不锈钢的一种或多种。

7.如权利要求1所述的一种超薄均热板超亲水微纳米结构吸液芯的制备方法，其特征在于，包含如下步骤：

1)将所述均热板盖板作切割、清洗等前期预处理，所述均热板盖板的厚度可为0.2～1mm，典型厚度可为0.2～0.4mm；

2)根据所述均热板盖板对所述吸液芯(1)区域的形状要求，编制超快激光的扫描区域为正方形、长方形、十字形、T字形、L形、工字形、三角形、条形、圆形、辐射形以及其组合等各种形状，在上述形状区域内进行制备工作；

3)将超快激光聚焦到所述吸液芯(1)表面，优化超快激光的平均功率、单脉冲能量、重复频率、焦斑大小、扫描速度、作用时间、扫描次数和扫描路径的工艺参数，使得激光作用区内的光束能流密度高于所述均热板盖板材料的烧蚀阈值，基于烧蚀机制产生材料的汽化蒸发去除形成所述周期分布的多个所述微米锥(13)/多个微米长方块(14)构成的列阵以及四周的所述通道(11)，同时基于超快激光的烧蚀与诱导机制在多个所述微米锥(13)表面/多个微米长方块(14)表面以及四周所述通道(11)的表面形成纳米波纹状/纳米颗粒状的纳米亚结构(12)；

4)对所述微纳米亚结构(12)表面进行高表面能处理,形成超亲水微纳米结构吸液芯；

5)将制备好的超亲水微纳米结构吸液芯顺次进行超声清洗、吹扫、干燥，然后进行真空封装，即得所述的超亲水微纳米结构吸液芯产品。

8.根据权利要求7所述的一种超薄均热板超亲水微纳米结构吸液芯的制备方法，其特征在于，所述步骤4)中所述高表面能处理为浸泡、喷涂、蒸发、溅射SiO2/TiO2，形成氧化物涂层，达到超亲水特性；且所述氧化物涂层的厚度小于5纳米。