[发明专利]电子测试设备装置及其操作方法

权利要求书

1.一种电子测试设备装置，包括：

被配置为接收功率的功率端子；

用于被测器件(DUT)的接口；

至少一个功率晶体管，所述至少一个功率晶体管串联连接在所述功率端子和用于所述DUT的所述接口之间；以及

保护电路，所述保护电路被配置为：

作为测试例程的一部分，接通所述至少一个功率晶体管，以通过所述接口将所述功率端子电连接到所述DUT；以及

随后在预定的延迟之后自动关断所述至少一个功率晶体管，以将所述功率端子与所述DUT电断开，而不管所述DUT是通过还是未通过所述测试例程。

2.根据权利要求1所述的电子测试设备装置，其中，所述保护电路包括：

栅极驱动器电路，所述栅极驱动器电路被配置为驱动所述至少一个功率晶体管的栅极端子；以及

控制器，所述控制器被配置为：

作为所述测试例程的一部分，将第一逻辑信号提供给所述栅极驱动器电路，以用于接通所述至少一个功率晶体管，使得所述至少一个功率晶体管通过所述接口将所述功率端子电连接到所述DUT；以及

随后将第二逻辑信号提供给所述栅极驱动器电路，以用于在所述预定的延迟之后关断所述至少一个功率晶体管，使得所述至少一个功率晶体管将所述功率端子与所述DUT电断开，而不管所述DUT是通过还是未通过所述测试例程。

3.根据权利要求2所述的电子测试设备装置，其中，作为所述测试例程的一部分而控制何时导通所述DUT的信号是到所述控制器的触发器输入，并且其中，所述控制器包括被编程为所述预定的延迟并响应于所述触发器输入的计数器或定时器电路。

4.根据权利要求1所述的电子测试设备装置，其中，所述预定的延迟是可编程的，使得所述电子测试设备装置与不同类型的DUT兼容。

5.根据权利要求1所述的电子测试设备装置，其中，所述至少一个功率晶体管是碳化硅(SiC)功率晶体管。

6.根据权利要求1所述的电子测试设备装置，其中，所述至少一个功率晶体管是绝缘栅双极型晶体管(IGBT)。

7.根据权利要求1所述的电子测试设备装置，其中，用于所述DUT的所述接口包括多个探针，所述多个探针被配置为与所述DUT进行电接触。

8.根据权利要求7所述的电子测试设备装置，其中，所述DUT是具有多个器件的半导体晶圆的一部分，并且其中，所述电子测试设备装置是被配置为经由所述多个探针探测所述半导体晶圆的探测器接口板。

9.根据权利要求7所述的电子测试设备装置，还包括电流限制器电路，所述电流限制器电路被配置为限制允许流动通过所述多个探针的电流。

10.根据权利要求9所述的电子测试设备装置，其中，所述电流限制器电路包括单独的IGBT，所述单独的IGBT电连接到所述多个探针中的每个个体的探针，每个单独的IGBT被配置为通过在去饱和状态下操作而限制允许流动通过电连接到所述IGBT的所述探针的所述电流。

11.根据权利要求1所述的电子测试设备装置，还包括电压钳位电路，所述电压钳位电路被配置为限制从所述功率端子施加到所述至少一个功率晶体管的电压。

12.根据权利要求11所述的电子测试设备装置，其中，所述功率端子被配置为由感性能量源供电，并且其中，在所述至少一个功率晶体管截止时，所述电压钳位电路与所述感性能量源形成电流换向路径的一部分。

13.根据权利要求11所述的电子测试设备装置，其中，所述电压钳位电路包括串联连接的一个或多个钳位二极管。