[发明专利]离子源装置

权利要求书

1.一种离子源装置，其特征在于，包括：

一霍尔离子源以及至少两个中空阴极；

各个所述中空阴极设于距离所述霍尔离子源一设定位置处；

各个所述中空阴极设计为所述霍尔离子源提供中和电子，且在其中任何一个中空阴极失效时，切换至其他中空阴极向所述霍尔离子源提供中和电子。

2.根据权利要求1所述的离子源装置，其特征在于，还包括：与各个中空阴极的进气口连接的供气管道，所述供气管道用于向各个中空阴极供应气体。

3.根据权利要求2所述的离子源装置，其特征在于，各个所述中空阴极的进气口前安装有电磁阀，用于对流入中空阴极的气体进行选通控制。

4.根据权利要求3所述的离子源装置，其特征在于，还包括：安装在所述供气管道上的气体流量计，用于统计和控制所述供气管道中的气体流量。

5.根据权利要求4所述的离子源装置，其特征在于，还包括：连接各个所述电磁阀的控制装置，用于输出控制信号控制所述电磁阀进行关闭或者选通。

6.根据权利要求5所述的离子源装置，其特征在于，所述控制装置还通过网络连接远程控制平台，其中，所述远程控制平台用于对所述离子源装置进行远程监测和远程控制。

7.根据权利要求5所述的离子源装置，其特征在于，还包括：连接所述控制装置的人机交互系统，用于接收用户输入的操作指令以及显示相关信息。

8.根据权利要求5-7任一项所述的离子源装置，其特征在于，所述控制装置，用于检测运行中的中空阴极是否失效，且在所述中空阴极失效时，输出控制信号选通备用的中空阴极的电磁阀，通过备用的中空阴极向所述霍尔离子源提供中和电子，并输出控制信号关闭失效的中空阴极对应的电磁阀以停止失效的中空阴极的运行。

9.根据权利要求8所述的离子源装置，其特征在于，所述控制装置，还用于记录中空阴极的使用时间，并根据所述使用时间计算所述中空阴极的预计失效时间，并在所述预计失效时间前检测所述中空阴极是否失效。

10.根据权利要求8所述的离子源装置，其特征在于，所述控制装置用于检测所述霍尔离子源的电压和电流数据，根据所述电压和电流数据检测中空阴极是否失效。