[发明专利]光学设备

权利要求书

1.一种使光的波长色散的光学设备，其特征在于，所述光学设备包括：

色散元件，被配置成使入射光透射并且使入射光色散以使得光路对于每个波长是不同的，并且所述色散元件被配置成生成第一色散光；以及

反射单元，包括顺次地反射第一色散光的四个反射表面，

其中，从所述四个反射表面顺次地反射的第一色散光入射在色散元件上，并且透射通过色散元件。

2.根据权利要求1所述的光学设备，其中，反射单元使第一色散光入射在色散元件上，以使得第一色散光的至少一部分在色散元件的表面上或者在色散元件的内部在与色散元件使光色散的方向垂直的方向上与入射光重叠。

3.根据权利要求1所述的光学设备，其中，反射单元使第一色散光入射在色散元件上，以使得第一色散光的至少一部分在色散元件的表面上或者在色散元件的内部在色散元件使光色散的方向和与色散元件使光色散的方向垂直的方向上与入射光重叠。

4.根据权利要求1所述的光学设备，其中，反射单元包括使所述四个反射表面当中的至少两个表面围绕旋转轴旋转的旋转机构。

5.根据权利要求4所述的光学设备，其中，旋转机构通过调整旋转的角度来调整第一色散光的光路长度。

6.根据权利要求4所述的光学设备，其中，旋转机构通过使所述四个反射表面整体地旋转来调整第一色散光的光路长度。

7.根据权利要求1所述的光学设备，其中，反射单元包括驱动机构，所述驱动机构被配置成驱动所述四个反射表面当中的至少一个表面并且改变第一色散光的光路长度。

8.根据权利要求1所述的光学设备，还包括：

反射元件，被配置成反射当从所述四个反射表面反射并被引导到色散元件的第一色散光透射通过色散元件时生成的第二色散光，并且所述反射元件被配置成使第二色散光入射在色散元件上。

9.根据权利要求8所述的光学设备，其中，反射元件使第二色散光入射在色散元件上，以使得第二色散光的至少一部分在色散元件的表面上或者在色散元件的内部在色散元件使光色散的方向上与入射光重叠。

10.根据权利要求1所述的光学设备，还包括：

部署在色散元件和反射表面之间的至少一个透镜或会聚镜。

11.一种脉冲控制设备，其特征在于，包括：

脉冲激光光源；

根据权利要求1至10中的任一项所述的光学设备；以及

控制单元，被配置成控制脉冲激光光源和光学设备，

其中，控制单元通过使从脉冲激光光源输出的脉冲激光入射在光学设备上并且使所述脉冲激光的波长色散来控制所述脉冲激光的脉冲时间宽度和脉冲峰值强度中的至少一个。

12.一种处理设备，其特征在于，包括：

根据权利要求11所述的脉冲控制设备；以及

激光扫描仪，被配置成通过在脉冲能量保持的情况下改变脉冲时间宽度和脉冲峰值强度中的至少一个的同时扫描激光来执行处理。

13.根据权利要求12所述的处理设备，还包括：

调整单元，被配置成调整所述激光的输出，

其中，通过使调整单元改变脉冲时间宽度和脉冲峰值强度中的至少一个来执行激光处理。