[发明专利]一种用于压电复合薄膜材料的极化夹具在审
申请号: | 202010751280.5 | 申请日: | 2020-07-30 |
公开(公告)号: | CN111769071A | 公开(公告)日: | 2020-10-13 |
发明(设计)人: | 徐凡;赵官峰;卓江山;娄维尧;蔡姚杰 | 申请(专利权)人: | 浙江工业大学 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L41/257 |
代理公司: | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人: | 周红芳 |
地址: | 310014 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 压电 复合 薄膜 材料 极化 夹具 | ||
1.一种用于压电复合薄膜材料的极化夹具,其特征在于:所述极化夹具主要包括三个部分,分别为极化组件、电极夹持器和夹具安装台;
极化组件包括上电极极化板(2)、下电极极化板(5)和绝缘隔离板(3),绝缘隔离板(3)上设有用于放置压电复合薄膜材料的预留开口;
电极夹持器包括扭簧(4)以及通过连接销(7)互相铰接的上夹板本体(12)和下夹板本体(13),上夹板本体(12)前端和下夹板本体(13)前端分别设有用于施压夹持的上夹板(1)和下夹板(6),扭簧(4)套于连接销(7)上,且扭簧(4)两端分别固定于上夹板(1)和下夹板(6)上;
电极夹持器安装于夹具安装台上,上电极极化板(2)连接于上夹板(1)下表面,下电极极化板(5)连接于下夹板(6)上表面;其中压电复合薄膜材料配合放置于绝缘隔离板(3)的预留开口内,绝缘隔离板(3)被夹持在上电极极化板和下电极极化板之间的同时,压电复合薄膜材料与上、下电极极化板之间均保持紧密贴合。
2.如权利要求1所述的一种用于压电复合薄膜材料的极化夹具,其特征在于:上电极极化板(2)和下电极极化板(5)分别通过引线与直流高压电源连接。
3.如权利要求1所述的一种用于压电复合薄膜材料的极化夹具,其特征在于:上电极极化板(2)和下电极极化板(5)均呈矩形结构,上电极极化板(2)的下表面中间及下电极极化板(5)的上表面中间均设置有一个矩形凸台,绝缘隔离板(3)中间位置设有一个相配的矩形开口,该矩形开口即为绝缘隔离板(3)上的预留开口;绝缘隔离板(3)被紧密地夹持在上电极极化板(2)和下电极极化板(5)之间,同时上电极极化板(2)下表面中间的矩形凸台与电极极化板(5)上表面中间的矩形凸台相向穿进绝缘隔离板(3)的矩形开口内,一并与放置于绝缘隔离板(3)矩形开口内的压电复合薄膜材料进行紧密接触。
4.如权利要求1所述的一种用于压电复合薄膜材料的极化夹具,其特征在于:上电极极化板(2)的上表面以及下电极极化板(5)的下表面均设置有若干蘑菇头形圆柱凸台,上夹板(1)下表面和下夹板(6)上表面分别设有若干相配的凹型卡槽(11),通过蘑菇头形圆柱凸台与凹型卡槽(11)的配合卡接作用,分别实现上电极极化板(2)和下电极极化板(5)在上夹板(1)和下夹板(6)上的安装固定。
5.如权利要求1所述的一种用于压电复合薄膜材料的极化夹具,其特征在于:下电极极化板(5)的上表面设有圆柱形定位台,绝缘隔离板(3)上设有相配的圆形定位孔,下电极极化板(5)上的圆柱形定位台配合穿入绝缘隔离板(3)的圆形定位孔内,实现绝缘隔离板(3)在下电极极化板(5)上的定位放置。
6.如权利要求1所述的一种用于压电复合薄膜材料的极化夹具,其特征在于:上夹板本体(12)前端底部靠近于上夹板(1)的位置设有两个竖直的支撑齿(10),两个支撑齿(10)相对间隔设置,且两个支撑齿(10)所在的同一平面与连接销(7)相平行;在电极夹持器的上夹板(1)和下夹板(6)将极化组件的上电极极化板(2)、绝缘隔离板(3)和下电极极化板(5)紧紧地夹持在一起的同时,两个支撑齿(10)底部均与下夹板本体(13)进行紧密接触。
7.如权利要求1所述的一种用于压电复合薄膜材料的极化夹具,其特征在于:所述夹具安装台包括光轴(8)以及固定安装在光轴(8)两端的两个卧式支撑座(9),下夹板本体(13)底部设有与光轴(8)外径相配的滑杆通孔,且下夹板本体(13)底部的滑杆通孔的数量与光轴(8)的数量相同,夹具安装台的光轴(8)配合穿入下夹板本体(13)底部的滑杆通孔内,实现电极夹持器在夹具安装台上的安装。
8.如权利要求7所述的一种用于压电复合薄膜材料的极化夹具,其特征在于:所述夹具安装台包括至少两根光轴(8),每根光轴(8)的两端均固定安装有两个卧式支撑座(9),下夹板本体(13)底部相应的设有至少两个滑杆通孔,夹具安装台的至少两根光轴(8)平行间隔地穿入下夹板本体(13)底部的至少两个滑杆通孔内,实现电极夹持器在夹具安装台上的稳固安装。
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