[发明专利]一种适用于小型化扫描电镜的样品真空转移装置

权利要求书

1.一种适用于小型化扫描电镜的样品真空转移装置，其特征在于：由用于封锁待测样品的密封腔、用于对密封腔进行抽真空的阀门机构、用于开启或关闭密封腔的动力机构和用于承载扫描电镜样品钉的承载托架（2）组成；

所述密封腔包括一个由固定底板（10）和转移装置腔体（5）一体铣制的结构整体，所述转移装置腔体（5）位于所述固定底板（10）的前侧面，且所述转移装置腔体（5）的前部为敞口，所述转移装置腔体（5）的敞口边缘的前侧面上设置有一圈密封条（3），所述转移装置腔体（5）的敞口上设置有一块可开合的密封盖板（1），且当所述密封盖板（1）盖紧在所述转移装置腔体（5）的敞口上时，所述密封盖板（1）的后侧面与所述密封条（3）紧密贴合；

所述阀门机构包括一个针阀（6），所述针阀（6）安装在所述固定底板（10）的后侧面，且所述针阀（6）的一端与穿过所述固定底板（10）后与所述转移装置腔体（5）连通；

所述动力机构包括用于控制所述密封盖板（1）开合的传动部分以及用于带动所述传动部分运动的驱动部分，所述驱动部分与所述固定底板（10）连接，所述传动部分与所述密封盖板（1）连接；

所述承载托架（2）水平安装在所述密封盖板（1）后侧面的上部，所述承载托架（2）上设置有用于承托小型扫描电镜所用的标准半英寸钉式样品台的样品钉放置孔（11），当所述密封盖板（1）打开时，所述承载托架（2）完全伸出所述转移装置腔体（5），当所述密封盖板（1）盖合时，所述承载托架（2）完全位于所述转移装置腔体（5）内，且所述承载托架（2）的上表面与所述转移装置腔体（5）的内壁顶部之间仅存在细微的间距。

2.根据权利要求1所述的适用于小型化扫描电镜的样品真空转移装置，其特征在于：所述固定底板（10）和所述转移装置腔体（5）采用铸造铝合金材料并一体铣制成一个结构整体，且所述固定底板（10）和所述转移装置腔体（5）的壁厚均不小于4mm。

3.根据权利要求1所述的适用于小型化扫描电镜的样品真空转移装置，其特征在于：所述密封条（3）为特氟龙材质的O型密封圈。

4.根据权利要求1所述的适用于小型化扫描电镜的样品真空转移装置，其特征在于：所述针阀（6）为手动针阀或电动针阀，且所述针阀（6）与所述转移装置腔体（5）之间通过内、外螺纹结构实现连通，且位于所述固定底板（10）上的外螺纹结构采用堆焊或螺纹连接与所述固定底板（10）固定连接。

5.根据权利要求1所述的适用于小型化扫描电镜的样品真空转移装置，其特征在于：所述步进电机（9）采用合乎小型化扫描电镜尺寸的超薄步进电机；所述丝杠（7）采用不锈钢材质的精密丝杠。

6.根据权利要求1所述的适用于小型化扫描电镜的样品真空转移装置，其特征在于：所述承载托架（2）上设置有9孔样品钉放置孔（11）。

7.根据权利要求1所述的适用于小型化扫描电镜的样品真空转移装置，其特征在于：所述承载托架（2）的上表面与所述转移装置腔体（5）的内壁顶部的间距为2-5mm。

8.根据权利要求1所述的适用于小型化扫描电镜的样品真空转移装置，其特征在于：所述动力机构包括步进电机（9）、联轴器（8）和丝杠（7），所述步进电机（9）安装在所述固定底板（10）的后侧面，所述步进电机（9）的输出轴在穿过所述固定底板（10）后与所述联轴器（8）固定连接，所述丝杠（7）的后端与所述联轴器（8）固定连接，所述丝杠（7）的另一端通过螺纹配合穿过所述密封盖板（1）。

9.根据权利要求1所述的适用于小型化扫描电镜的样品真空转移装置，其特征在于：所述动力机构为精密电动滑台，所述精密电动滑台的滑轨部分与所述固定底板（10）固定连接，所述精密电动滑台的滑块部分与所述密封盖板（1）固定连接。

10.根据权利要求1所述的适用于小型化扫描电镜的样品真空转移装置，其特征在于：所述固定底板（10）的前侧面还设置有至少一根用于提升所述密封盖板（1）开合稳定性的导柱（4），所述导柱（4）的后端与所述固定底板（10）的前侧面固定连接，所述导柱（4）的前端可滑动地穿过所述密封盖板（1）。