[发明专利]一种碳碳坩埚及制造方法及感应加热炉

权利要求书

1.一种碳碳坩埚的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：预制，选用双向碳纤维布，使其经线与坩埚轴线平行，纬线与坩埚轴线垂直布置，双向碳纤维布经缠绕制成预制件；

S2：CVI渗透，将预制件置入气相渗透炉，进行化学气相渗透，渗透结束后，通入保护气体，降温后，开炉取出渗透件；

S3：时效处理，将渗透件置于室温进行时效处理，获得时效件；

S4：CVD致密，将时效件置入气相沉积炉，进行化学气相沉积，沉积结束后，通入保护气体，降温后，开炉取出致密件；

S5：纯化，将致密件置入纯化炉，进行高温纯化，降温后取出。

2.根据权利要求1所述的碳碳坩埚的制造方法，其特征在于：所述双向碳纤维布为平纹碳纤维布。

3.根据权利要求1所述的碳碳坩埚的制造方法，其特征在于：所述化学气相渗透处理温度为1000-1200℃，时间为6-10h。

4.根据权利要求1所述的碳碳坩埚的制造方法，其特征在于：所述时效处理时间不少于4天。

5.根据权利要求1所述的碳碳坩埚的制造方法，其特征在于：所述化学气相沉积处理温度为1000-1200℃，时间为6-8h。

6.根据权利要求1所述的碳碳坩埚的制造方法，其特征在于：获得所述致密件后，对致密件进行沉积膜厚度检测，当沉积膜厚度小于20μm时，重复步骤S4，当沉积膜厚度大于20μm时，执行步骤S5。

7.根据权利要求1所述的碳碳坩埚的制造方法，其特征在于：所述高温纯化处理温度为1800-2500℃，时间为2-3h。

8.根据权利要求1所述的碳碳坩埚的制造方法，其特征在于：所述碳碳坩埚于步骤S1时，制得整体式预制件，所述整体式预制件包括坩埚底(1)与坩埚筒(2)。

9.根据权利要求1所述的碳碳坩埚的制造方法，其特征在于：所述碳碳坩埚于步骤S1时，制得坩埚底(1)与至少一个坩埚筒(2)，所述坩埚底(1)和坩埚筒(2)于步骤S5后拼接成碳碳坩埚。

10.根据权利要求1所述的碳碳坩埚的制造方法，其特征在于：所述碳碳坩埚于步骤S1时，制得坩埚底(1)与至少一个坩埚筒(2)，所述坩埚底(1)和坩埚筒(2)拼接成碳碳坩埚预制件，再依次执行步骤S2至步骤S5。

11.一种碳碳坩埚，其特征在于：所述碳碳坩埚由权利要求1至10任意一项所述碳碳坩埚的制造方法制得。

12.根据权利要求11所述的碳碳坩埚，其特征在于：所述坩埚底(1)设有用于通入气体的通孔(3)。

13.一种碳碳坩埚感应加热炉，其特征在于：所述碳碳坩埚感应加热炉包括权利要求11或12所述碳碳坩埚。