[发明专利]一种精密仪器隔振平台

说明书

本发明公开了一种精密仪器隔振平台。包括载荷平台模块、隔振系统模块以及移动支撑模块。所述隔振装置的三个模块呈自上而下式分布，其中隔振系统模块(由三个隔振器组件组成)位于中部，分别上、下连有载荷平台模块和移动支撑模块。本发明所设计的隔振系统模块为封闭式多组并联结构，具有承载能力大、稳定性好等特点；同时隔振器组件采用三点六弹簧斜向会聚式支撑设计，实现空间坐标系下三向等刚度、等基频功能，具有较好的减隔振性能；此外，隔振装置均并联设有限位锁定组件，能够对精密测量仪起到限位保护作用，具由较好的安全性。该隔振装置整体采用行车一体化设计，可移动、可锁紧、方便快捷、具有很强的环境适应性。整体结构简单、制造成本低，应用前景广阔。

技术领域

本发明公开了一种精密仪器隔振平台，属于精密测试设备及减隔振技术领域。

背景技术

精密测量仪是工业测量系统中一种常用的高精度、大尺寸测量仪器(包括激光跟踪仪、经纬测量仪、激光干涉仪以及微变形光学测量系统等)。它集合了激光干涉测距技术、光电探测技术、精密机械测试技术等对空间运动的目标进行跟踪与捕获，并对目标体空间三维坐标进行实时高精度测量运算。这些高精度测试仪器在实际使用过程中，其测试精度会受外界环境、仪器支架及设备本体操作等多诸多因素影响。在保证仪器自身及操作精度测量要求范围内，其测量精度会受到外界环境的干扰，而使得精度降低或测试结果无法满足要求。因此，针对精密测量仪所处环境进行有效隔离或抑制，解决精密测量仪在使用过程中频繁受到外界噪声干扰而影响测试精度等问题变得尤为重要。

目前，针对高精设备隔振技术应用领域主要集中在：

1)用于航天器发射段星箭整器抗力学环境，以及在轨微振动抑制和光学相机等有效载荷超静超稳环境。如论文《基于粘弹性材料的柔性卫星隔振技术研究》中，采用在星箭载荷适配器上增设粘弹性阻尼器，用以降低发射段力学载荷对卫星整体的影响；论文《卫星减振的试验研究》中，在适配器表面粘贴约束阻尼层进行减振；一种并联桁架式CMG群减隔振装置，采用多组隔振杆并联组合，实现对多个CMG整体的隔振，并通过调整隔振杆布局角度以及隔振器刚度、阻尼参数，实现隔振系统特性的调整，以适应不同型号的CMG减隔振要求(专利授权号ZL201610329702.3)；一种微幅高承载高阻尼微动隔振器，采用外部主刚度弹簧与内部流体阻尼并联，实现对微振动的高度敏感，有效提高微振动、高精度的航天器在轨振动控制(参考专利受申请号201618001923.9)；一种主被动一体化的四足会聚式隔振器，采用三足斜置式支撑，通过加入压电陶瓷与隔振弹簧和金属橡胶并联提高承载能力，且具有较好的抑制共振峰值作用(参考专利申请号CN201810057862.6)；一种可变刚度的隔振器，通过磁流变弹性体剪切方向上刚度的变化来隔振或减振，使其在振源频率不断变化的情况下也能达到较好的减振效果(参考专利申请号CN201120115405.1)；变刚度调节型橡胶隔振器，通过夹紧机构调整橡胶所受到的预紧力大小来改变橡胶隔振器的刚度和固有频率(参考专利申请号CN200720076571.9)；卫星切槽弹簧及液体阻尼一体化隔振器，通过弹簧与液体阻尼器的并联，实现高频振动隔离的同时有效降低系统共振区域的放大响应(参考专利申请号CN201710359394.3)；

2)地面运输及轨道车辆操纵性和平顺性，以及座椅安全舒适环境；如基于磁流变技术的轨道隔振多功能试验平台，采用半主动隔振技术通过调节磁流变隔振器的阻尼，实现大幅度降低轨道平台整体系统的振动(参考专利申请号CN201310112913.8)；基于磁流变材料的浮置板轨道隔振器，通过改变线圈电流实现控制磁流变材料的磁场强度，实现阻尼调节功能，从而衰减轨道列车运动过程中所产的振动能量(参考专利申请号CN201510321628.6)；