[发明专利]单晶炉停炉预防热场损坏方法

权利要求书

1.一种单晶炉停炉预防热场损坏方法，其特征在于，所述单晶炉包括：用于盛装熔融硅液的石英坩埚，设置在所述石英坩埚上方的水冷热屏，设置在所述单晶炉底部的副加热器，以及设置在所述石英坩埚四周且位于所述水冷热屏下方的主加热器，

所述方法包括：

步骤1，在所述石英坩埚内有剩料熔融硅液时，拉制晶体，所述晶体的第一长度进入所述水冷热屏；

步骤2，所述晶体拉制到第二长度后，停止拉制所述晶体，使得所述晶体静止，且所述晶体的一端与熔融硅液液面接触，所述第一长度小于第二长度；

步骤3，在所述晶体静止后，所述单晶炉底部的副加热器加热功率下降为零；

步骤4，所述单晶炉四周的主加热器分三个阶段降低功率，直至所述主加热器加热功率下降为零；

步骤5，冷却一定时间后拆单晶炉。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述副加热器在拉制所述晶体时，加热功率是15kw。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述主加热器在拉制所述晶体时，加热功率是45-60kw。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述石英坩埚内的剩料熔融硅液为250-450kg时，所述晶体的第二长度在300-500mm之间。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述第一长度在200-400mm之间。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤4中所述三个阶段为阶梯式降低功率，其中，第一个阶段，主加热器功率在30min时下降10kw。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述步骤4中，在所述第一阶段之后的第二个阶段，主加热器功率在60min时继续下降15kw。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述步骤4中，在所述第二阶段之后的第三阶段，所述主加热器功率在90min时，功率下降为零停止加热。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述水冷热屏内设有循环冷却水，以对所述晶体快速降温。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，拉制所述晶体为位错单晶或多晶。