[发明专利]改性无机/有机压电薄膜、其制备方法及其应用

权利要求书

1.一种改性无机/有机压电薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、通过高温烧结得到压电陶瓷块，再进行破碎，研磨，烘干，得到压电陶瓷粉；其中，所述压电陶瓷块所采用的无机相材料为锆钛酸铅、钛酸钡、铌酸钾钠和铌酸锂中的一种或几种；

S2、对所述压电陶瓷粉进行表面改性；所述压电陶瓷粉的改性过程为：将压电陶瓷粉、表面改性剂、溶剂、氧化锆研磨球加入到球磨罐中，采用行星磨球磨，之后对浆料进行抽滤，滤布采用1000目滤布，抽滤至没有明显液体为止，然后放入烘箱中在90℃下烘干；使用的表面改性剂为硅烷改性剂、钛酸酯改性剂或铝酸酯改性剂，所述表面改性剂加入量为所述压电陶瓷粉质量的0.5~4%，所述压电陶瓷粉、溶剂和氧化锆研磨球的加入质量比为1:3:3；采用钛酸酯、铝酸酯为表面改性剂时，所述溶剂为纯乙醇溶液；采用硅烷类改性剂时，所述溶剂为乙醇的水溶液，其中乙醇的质量百分比为70~90%；

S3、将改性后的所述压电陶瓷粉、聚合物粉和溶剂进行混合；其中，所述聚合物粉所采用的有机材料为聚偏氟乙烯、聚偏氟乙烯-三氟乙烯、聚偏氟乙烯-三氟乙烯-三氟氯乙烯中的一种；改性后所述压电陶瓷粉占无机有机混合物的总重量百分比为1~50%；

S4、将混合后的浆料置烘干，辊磨混料，对混料进行造粒、烘干；

S5、将烘干后的粒料经挤出流延即可得到所述改性无机/有机压电薄膜。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述S1步骤中，采用行星磨研磨，介质为去离子水，研磨球为氧化锆球，研磨球、陶瓷粉和水的重量之比为3:1:2。

3.如权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述氧化锆球采用三种直径的球进行搭配，直径分别为10mm、5mm和1.5mm，质量比为1:1:1。

4.权利要求1-3任一项所述的制备方法制备的改性无机/有机压电薄膜。

5.权利要求1-3任一项所述的制备方法在制备压电薄膜中的应用。

6.一种压电薄膜传感器，其特征在于，包括如权利要求4所述的改性无机/有机压电薄膜。