[发明专利]工件侧周成像系统在审
| 申请号: | 202010723160.4 | 申请日: | 2020-07-24 |
| 公开(公告)号: | CN111855695A | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
| 发明(设计)人: | 崔忠伟;陈鸣;崔凯翔 | 申请(专利权)人: | 北京领邦智能装备股份公司 |
| 主分类号: | G01N21/952 | 分类号: | G01N21/952;G01N21/88;G02B13/22;G03B15/06 |
| 代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 孙宝海;袁礼君 |
| 地址: | 100000 北京市海淀区永*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 工件 成像 系统 | ||
1.一种工件侧周成像系统,其特征在于,包括:
超远心镜头;
锥形杯,包括:可反射光线的内壁及第一开口,所述第一开口朝向所述超远心镜头;以及
发光体,设置于所述锥形杯内部。
2.根据权利要求1所述的工件侧周成像系统,其特征在于,所述超远心镜头的光轴与所述锥形杯的中轴线在同一直线上;或者,所述超远心镜头的光轴与所述锥形杯的中轴线形成的夹角小于或等于10度,所述锥形杯形成的锥尖点距离所述超远心镜头的光轴小于或等于10毫米。
3.根据权利要求2所述的工件侧周成像系统,其特征在于,所述发光体的中心相对所述锥形杯形成环形虚像,所述环形虚像中心位于所述超远心镜头的入瞳中心。
4.根据权利要求1-3任一项所述的工件侧周成像系统,其特征在于,所述发光体包括两个发光区或三个发光区,分别发射红色、绿色或蓝色光线。
5.根据权利要求1-3任一项所述的工件侧周成像系统,其特征在于,所述发光体包括下述发光体中的一种:球形发光体、柱形发光体或平面发光体。
6.根据权利要求5所述的工件侧周成像系统,其特征在于,所述发光体包括两个发光区或三个发光区,分别发射红色、绿色或蓝色光线。
7.根据权利要求1-3所述的工件侧周成像系统,其特征在于,所述发光体在所述锥形杯的周向上居中设置。
8.根据权利要求1-3任一项所述的工件侧周成像系统,其特征在于,所述锥形杯的锥面与中轴线的夹角为45度。
9.根据权利要求1-3任一项所述的工件侧周成像系统,其特征在于,所述锥形杯的内壁为镜面。
10.根据权利要求1-3任一项所述的工件侧周成像系统,其特征在于,所述锥形杯还包括第二开口,所述第二开口设置于所述锥形杯的底部,且所述第二开口的面积小于所述第一开口的面积。
11.根据权利要求1-3任一项所述的工件侧周成像系统,其特征在于,还包括:玻璃台,设置于所述超远心镜头与所述锥形杯之间。
12.根据权利要求3所述的工件侧周成像系统,其特征在于,待成像表面为柱面且柱面轴线与所述超远心镜头的光轴共线时,所述环形虚像的半径设置为所述柱面曲率半径的两倍。
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